[其他]放射線圖像取得裝置

有效

• 申請號: 201190001002.2
• 申請日: 2011-10-21
• 公開（公告）號: CN203396722U
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發明（設計）人: 杉山元胤;須山敏康
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04;G01T1/20
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

技術領域

本實用新型涉及一種放射線圖像取得裝置。

背景技術

歷來，已知的有如下述專利文獻1所記載的那樣，將從X射線源產生而透過了攝像對象物的X射線照射到平板狀的閃爍器，由層疊在閃爍器兩面的固體光檢測器檢測在閃爍器發光的可見光（閃爍光），使從各固體光檢測器輸出的圖像信號重疊而取得放射線圖像的裝置。在該裝置中，使光檢測元件耦合于閃爍器的X射線的入射面及其背面，在入射面側的光檢測元件與背面側的光檢測元件的各個中檢測可見光，由此提高可見光的檢測效率。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平7-27866號公報

實用新型內容

實用新型所要解決的問題

如上述那樣在閃爍器的兩面檢測閃爍光的裝置中，能夠在入射面側及其背面側取得不同能量帶的放射線圖像，并使所謂的雙能（dual-energy）的圖像取得變得可能。

然而，上述現有的裝置中，透過了對象物的放射線透過入射面側的光檢測元件而到達閃爍器，因而比較低能量帶的放射線被入射面側的光檢測元件吸收。例如，在對象物由輕原子形成的情況下，透過了對象物的放射線有時會被入射面側的光檢測元件吸收。如此，存在透過了對象物的放射線會受到入射面側的光檢測元件的影響這樣的問題。

因此，本實用新型的目的在于，提供一種放射線圖像取得裝置，其能夠取得不同能量帶的放射線圖像，而且能夠減小對透過了對象物的放射線產生的影響。

解決技術問題的手段

本實用新型的一個方式所涉及的放射線圖像取得裝置，其特征在于，具備：出射放射線的放射線源；對應于從放射線源出射并透過了對象物的放射線的入射而產生閃爍光的平板狀的波長變換構件；對從波長變換構件的放射線的入射面沿著相對于入射面的法線方向傾斜的方向出射的閃爍光進行聚光并攝像的第1攝像機構；以及對從波長變換構件的入射面的相反側的面沿著相對于相反側的面的法線方向傾斜的方向出射的閃爍光進行聚光并攝像的第2攝像機構。

根據本實用新型的一個方式所涉及的放射線圖像取得裝置，從波長變換構件的放射線的入射面及其相反側的面出射的閃爍光分別由第1攝像機構和第2攝像機構聚光并攝像。由此，實現取得不同能量帶的放射線圖像的雙能攝像。這里，第1攝像機構由于對從入射面出射的閃爍光進行聚光，因此配置在與波長變換構件相離的位置。因此，能夠做成攝像機構不介于對象物與波長變換構件之間的結構，能夠避免攝像機構對透過了對象物的放射線產生影響那樣的情形。因此，能夠減小對透過了對象物的放射線產生的影響。此外，由第1攝像機構聚光的閃爍光沿著相對于入射面的法線方向傾向的方向出射，由第2攝像機構聚光的閃爍光沿著相對于相反側的面的法線方向傾斜的方向出射，因而由任意一種攝像機構攝像的放射線圖像均產生同樣的透視傾斜（perspective）。因此，入射面側和相反側的面側的圖像間的校正等的運算會變得容易。

另外，可選地，第1攝像機構和第2攝像機構各自具有：對從波長變換構件出射的閃爍光進行聚光的聚光透鏡部、以及對被聚光的閃爍光進行攝像的攝像部。在這種情況下，以焦點對準于波長變換構件的入射面和相反側的面的各面的方式進行聚光，由此能夠取得能量區別性良好且明亮的放射線圖像。

這里，可選地，第1攝像機構和第2攝像機構配置成相對于波長變換構件而面對稱。在這種情況下，在由第1攝像機構攝像的放射線圖像、由第2攝像機構攝像的放射線圖像中，會產生等量的透視傾斜。因此，在入射面側和相反側的面側的圖像間的運算中，不需要使圖像反轉來進行校正這樣的運算，使運算更進一步地變得容易。

另外，可選地，由第1攝像機構聚光的閃爍光相對于入射面的法線方向的傾斜角度與由第2攝像機構聚光的閃爍光相對于相反側的面的法線方向的傾斜角度彼此不同，還具備對由第1攝像機構攝像的圖像和由第2攝像機構攝像的圖像中的至少一者進行校正的校正機構。在這種情況下，由第1攝像機構攝像的圖像與由第2攝像機構攝像的圖像會產生彼此不同的透視傾斜。這里，通過校正機構對至少一個圖像的透視傾斜進行校正而使兩圖像的透視傾斜情況相一致，由此實現高精度的雙能攝像。

另外，可選地，對象物是半導體器件，上述放射線圖像取得裝置適用于以該半導體器件作為檢查對象的半導體故障檢查裝置。在這種情況下，透過了成為檢查對象的半導體器件的放射線不被攝像部（圖像取得用的攝像元件）截斷，因而，能夠精度高地檢測半導體器件的故障等。

實用新型的效果