[其他]放射線圖像取得裝置

有效

• 申請號: 201190001002.2
• 申請日: 2011-10-21
• 公開（公告）號: CN203396722U
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發明（設計）人: 杉山元胤;須山敏康
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04;G01T1/20
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種放射線圖像取得裝置，其特征在于，?

具備：?

放射線源，出射放射線；?

平板狀的波長變換構件，對應于從所述放射線源出射并透過了對象物的所述放射線的入射而產生閃爍光；?

第1攝像機構，對從所述波長變換構件的所述放射線的入射面沿著相對于所述入射面的法線方向傾斜的方向出射的閃爍光進行聚光并攝像；以及?

第2攝像機構，對從所述波長變換構件的所述入射面的相反側的面沿著相對于所述相反側的面的法線方向傾斜的方向出射的閃爍光進行聚光并攝像。?

2.如權利要求1所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于，?

所述第1攝像機構和所述第2攝像機構各自具有：?

聚光透鏡部，對從所述波長變換構件出射的所述閃爍光進行聚光；以及?

攝像部，對被聚光的所述閃爍光進行攝像。?

3.如權利要求1所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于，?

所述第1攝像機構的聚光透鏡部使焦點對準于所述入射面，并對從所述入射面沿著相對于所述入射面的法線傾斜的方向出射的閃爍光朝向攝像部進行聚光。?

4.如權利要求1所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于，?

所述第2攝像機構的聚光透鏡部使焦點對準于所述相反側的面，并對從所述相反側的面沿著相對于所述相反側的面的法線傾斜的方向出射的閃爍光朝向攝像部進行聚光。?

5.如權利要求1所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于，?

由所述第1攝像機構聚光的閃爍光相對于所述入射面的法線方向?的傾斜角度，與由所述第2攝像機構聚光的閃爍光相對于所述相反側的面的法線方向的傾斜角度，彼此相等。?

6.如權利要求1所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于，?

所述第1攝像機構和所述第2攝像機構配置成，相對于所述波長變換構件而面對稱。?

7.如權利要求1所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于，?

所述第1攝像機構的聚光透鏡部的光軸和所述第2攝像機構的聚光透鏡部的光軸，以所述入射面的法線和所述相反側的面的法線為基準，彼此位于相反側。?

8.如權利要求1所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于，?

由所述第1攝像機構聚光的閃爍光相對于所述入射面的法線方向的傾斜角度與由所述第2攝像機構聚光的閃爍光相對于所述相反側的面的法線方向的傾斜角度彼此不同，?

還具備對由所述第1攝像機構攝像的圖像和由所述第2攝像機構攝像的圖像中的至少一者進行校正的校正機構。?

9.如權利要求1～8中的任一項所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于，?

所述放射線源配置在所述入射面的法線上。?

10.如權利要求1～8中的任一項所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于，?

所述放射線源以放射線的光軸相對于所述入射面的法線成規定角度的方式配置。?

11.如權利要求1～8中的任一項所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于，?

從所述入射面到所述第1攝像機構為止的光路長與從所述相反側的面到所述第2攝像機構為止的光路長相等。?

12.如權利要求1～8中的任一項所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于，?

所述第1攝像機構和所述第2攝像機構以同時進行攝像的方式構成。?

13.如權利要求1～8中的任一項所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于，?

所述對象物為半導體器件，?

適用于以該半導體器件作為檢查對象的半導體故障檢查裝置。?

14.如權利要求1～8中的任一項所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于，?

所述對象物是電子部件。?