[發明專利]制造用于信息記錄介質的玻璃襯底的倒角設備和方法

在審

• 申請號: 201180072571.0
• 申請日: 2011-07-28
• 公開（公告）號: CN103858161A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 班猜·翁戈恩亞伊
• 申請（專利權）人: HOYA玻璃磁盤（泰國）公司;HOYA株式會社
• 主分類號: G11B5/84
• 分類號: G11B5/84;B24B1/00;B24B5/12;B24B9/00;C03C19/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 顧晉偉;彭鯤鵬

1.一種用于對在信息記錄介質的制造中使用的玻璃襯底進行倒角的倒角設備，所述設備包括：

-第一夾持夾具，所述第一夾持夾具具有與具有中央圓形孔的玻璃襯底的形狀對應的中空圓形；所述第一夾持夾具安裝在經固定的安裝板上；耦接到軸的圓筒（柱）形磨石，所述軸是可旋轉并且可縮回的或能夠向上或向下移動，使得所述圓筒（柱）形磨石能夠朝向所述第一夾持夾具的圓形中空部的內側移動或移動離開所述第一夾持夾具的所述圓形中空部的內側，所述第一夾持夾具的所述圓形中空部的內側包括所述玻璃盤的所述圓形中央孔，所述圓筒（柱）形磨石適于磨削所述玻璃襯底的內邊緣；

-磨石，所述磨石適于繞所述磨石的軸線旋轉并且能夠朝向所述第一夾持夾具移動并且適于對緊固在所述第一夾持夾具上的所述玻璃襯底的外周邊緣進行磨削；

-清潔裝置，所述清潔裝置向所述第一夾持夾具的面噴射，使得在每個玻璃襯底的開始倒角之前或倒角周期完成之時和/或在將下一個玻璃襯底引入到所述第一夾持夾具上之前，對所述第一夾持夾具的所述面進行清潔；以及

-緊固裝置，所述緊固裝置能夠在倒角進行時將所述玻璃襯底緊固至所述第一夾持夾具面上。

2.根據權利要求1所述的設備，還包括第二夾持夾具；所述第二夾持夾具具有與所述第一夾持夾具相同的中空圓形，安裝至所述第一夾持夾具的上方的安裝基座；所述第二夾持夾具適于朝向所述第一夾持夾具移動或移動離開所述第一夾持夾具。

3.根據權利要求2所述的設備，其中

所述第一夾持夾具和所述第二夾持夾具適于將所述玻璃襯底夾持在所述第一夾持夾具與所述第二夾持夾具之間并且適于接納所述圓筒（柱）形磨石，使得所述圓筒（柱）形磨石能夠在所述第一夾持夾具和所述第二夾持夾具中旋轉并且適于在所述玻璃襯底被夾持在所述第一夾持夾具與所述第二夾持夾具之間時對所述玻璃襯底的所述內邊緣進行磨削，并且所述磨石適于對所述玻璃盤的所述外周邊緣進行磨削；所述第二夾持夾具和所述圓筒（柱）形磨石能夠在在倒角周期完成之時移動離開所述第一夾持夾具以暴露所述夾持夾具的所述面，使得能夠通過所述清潔裝置進行清潔。

4.根據權利要求1或2或3所述的設備，其中所述第一夾持夾具和/或所述第一與所述第二夾持夾具與驅動單元通信，使得所述夾持夾具能夠沿著與所述圓筒（柱）形磨石和所述磨石旋轉的相反方向旋轉。

5.根據權利要求1或2所述的設備，其中所述第一夾持夾具包括嵌入在所述第一夾持夾具的夾持面上的槽和多個通孔，使得所述緊固裝置能夠與放置在所述第一夾持夾具的所述面上的所述玻璃襯底接觸并且將所述玻璃襯底緊固至所述第一夾持夾具的所述面。

6.根據權利要求1或2所述的設備，其中所述清潔裝置實現為具有至少一個導管，所述至少一個導管具有與經加壓的流體源連通的一端和對所述第一夾持夾具的或所述第二夾持夾具的所述面噴射的另一端；所述導管適于容納經加壓的流體射流并將所述射流釋放至所述第一夾持夾具的或所述第二夾持夾具的所述面上，使得所述經加壓的流體能夠清掃所述第一夾持夾具和所述第二夾持夾具的所述面。

7.根據前述權利要求中的任一項所述的設備，其中所述緊固裝置為真空泵。

8.一種制造用于信息記錄介質的玻璃襯底的方法，所述方法包括下述步驟：

-將玻璃襯底緊固至倒角設備；

-對玻璃盤的內周邊緣和外周邊緣進行磨削的步驟：所述步驟包括使圓筒（柱）形磨石能夠旋轉并且磨削所述內邊緣；以及在與通過所述圓筒（柱）形磨石磨削所述內邊緣同時或者相繼地使所述磨石能夠磨削所述玻璃襯底的所述外邊緣，直到達到預定的平滑度值；

-在每個倒角周期的結束時移除經倒角后的玻璃盤；以及

-在將玻璃襯底引入到所述夾持夾具上之前或在每個倒角周期的結束時清潔所述夾持夾具的所述面以將包括玻璃屑的污染物從所述夾持夾具的所述面移除。

9.根據權利要求8所述的方法，其中所述對所述夾持夾具的所述面進行清潔的步驟的特征在于，通過將經加壓的流體引導朝向所述夾持夾具的所述面并且同時地將所述經加壓的流體釋放至所述第一夾持夾具的所述面和/或所述第一與所述第二夾持夾具的所述面，使得所述經加壓的流體能夠清掃過所述夾持夾具的所述面，將包括玻璃屑的污染物從所述夾持夾具的所述面移除。

10.根據權利要求9的方法，其中所述經加壓的流體是經加壓的空氣。

11.根據權利要求10所述的方法，其中所述經加壓的空氣具有3bar至5bar的壓力值。