[發明專利]制造用于信息記錄介質的玻璃襯底的倒角設備和方法

在審

• 申請號: 201180072571.0
• 申請日: 2011-07-28
• 公開（公告）號: CN103858161A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 班猜·翁戈恩亞伊
• 申請（專利權）人: HOYA玻璃磁盤（泰國）公司;HOYA株式會社
• 主分類號: G11B5/84
• 分類號: G11B5/84;B24B1/00;B24B5/12;B24B9/00;C03C19/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 顧晉偉;彭鯤鵬

技術領域

本發明涉及一種對用于制造包括硬盤驅動器（HDD）的信息記錄介質的玻璃襯底進行倒角的方法和設備。

背景技術

已存在對具有增大容量的（如存儲更大量數據的能力）的信息記錄介質的日益增加的需求。為了滿足這樣的需要，現今玻璃襯底要優先于常規的鋁合金襯底。通常加工成在中央具有圓形孔的盤狀的玻璃襯底的缺點是易于開裂、斷裂。結果是，這促成了更大量的缺陷玻璃或不良（NG）玻璃。因此，在玻璃襯底制造中，倒角以使邊緣（外邊緣和內邊緣）變平是一個重要的步驟。

在常規的玻璃襯底的制造過程中，玻璃襯底的倒角步驟發生在取芯（coring）步驟之后但在研磨步驟之前。

日本專利申請公開第2000-107995號公開了一種磨削方法，在該磨削方法中，將玻璃襯底放置到倒角機器上并且經由真空裝置將其固定到一個位置。該倒角機器以同時磨削襯底的內邊緣和外周邊緣的磨削方式旋轉。在倒角過程完成時，使襯底經歷進一步的研磨和拋光以達到平滑度和厚度的預定水平。

該已知方法的缺點在于當磨削玻璃襯底時，出現玻璃屑并且滯留在倒角機器上。因此，滯留的玻璃屑造成在下一個和隨后的被引入至倒角機器上的玻璃襯底的面上的刮痕。在過去沒有認識到這個問題，因為玻璃襯底被制備成具有高的厚度并且玻璃襯底的常規制造趨向于具有高的切削量。因此，襯底上的任何劃痕在拋光過程中最終被消除。然而，制備具有高厚度的毛坯玻璃襯底需要較大量的熔融玻璃，同時高切削量會占用更長的拋光時間，所有這些都促成了較高制造成本。另外，HDD技術的當前趨勢允許磁盤比以前更快地旋轉。因此，優選略厚的玻璃盤。這意味著高的切削量不再作為用于移除玻璃襯底的面上的劃痕的方法的選擇。

美國專利No.7,798,889B2公開了一種倒角設備，該倒角設備包括：具有圓柱形中空端部的磨石、使磨石繞圓柱形中空端部的軸線旋轉的磨石驅動單元、使玻璃襯底繞外周的軸線和中央圓形孔的軸線中的任一者旋轉的襯底旋轉驅動單元、以及將磨石按壓至玻璃襯底使得磨石的環形端面與玻璃襯底的外周和內周中的任一者的邊緣接觸同時磨石的圓柱形中空端部面對玻璃襯底的外周和內周中的一者的按壓單元。然而，仍然存在對有效地減少由玻璃屑造成的刮痕的倒角設備、方法和制造過程的需要。

發明內容

本發明的目的是提供一種用于對在制造信息記錄介質中使用的玻璃襯底進行倒角的設備和方法。該設備有助于減少在倒角過程期間由玻璃屑引起的玻璃襯底上的刮痕。在倒角期間減少刮痕進而減少了切削量并且最終降低了生產成本。

在本發明的一個方面中，提供了一種用于對玻璃襯底，更具體地是用于制造包括硬盤驅動器（HDD）的信息記錄介質的那些玻璃襯底進行倒角的設備。

在一個實施方案中，該設備包括單個夾持夾具。該夾持夾具具有圓形本體，該圓形本體具有中央圓形孔。該夾持面適于接納被引入其上的玻璃襯底。該設備包括在倒角進行時將該玻璃襯底可操作地固定到夾持夾具上并且在倒角周期結束時釋放該玻璃襯底的裝置。

在另一個實施方案中，該設備還包括第二夾持夾具。第一夾持夾具以與之前的實施方案相同的方式安裝在經固定的安裝板上。第一夾持夾具和第二夾持夾具兩者均具有對應于具有中央圓形孔的玻璃襯底的圓形中空本體。第二夾持夾具適于向下移動并且將玻璃盤夾持在第一夾持夾具與第二夾持夾具之間，并且在每個倒角周期完成時向上移動以從夾持狀態釋放該玻璃盤使得經倒角的玻璃盤可以傳送到第一夾持面的外部。該設備還包括用于清潔第一夾持夾具和第二夾持夾具的面的裝置。

在本發明的另一個方面中，提供了一種用于對玻璃襯底進行倒角的方法。該方法包括在每個倒角周期的結束在開始下一個倒角周期之前清潔夾持夾具以移除玻璃屑的步驟。該方法使用經加壓的流體，其中一股經加壓的流體朝向夾持夾具的面，其中經加壓的流體清掃過夾持夾具的面移除滯留在夾持夾具面上的任何玻璃屑。

在本發明的另一個方面中，本發明提供了一種用于制造在信息記錄介質的制造中使用的玻璃襯底的方法。根據本發明的各方面中的一個方面，該方法包括新的倒角過程。

附圖說明

根據示出了本文中描述的原理并作為本說明書的一部分的附圖，通過本發明的詳細描述將更好地理解本發明的原理的目標、特征和優點。

圖1示出了對根據本發明的原理的倒角過程和倒角設備的實施方案進行了說明的示意圖；

圖2示出了根據本發明的原理的用于倒角的設備的實施方案的示意圖；