[發(fā)明專(zhuān)利]移動(dòng)的、可運(yùn)輸?shù)撵o電襯底保持設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201180059882.3
• 申請(qǐng)日: 2011-12-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103392227A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: F.施瓦茨
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 曼茲股份公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/683
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/683;H01L21/677;H01L21/687;H02N13/00
• 代理公司: 中國(guó)專(zhuān)利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 杜荔南;劉春元

1.?用于薄的片狀工件以及在高溫下使用的移動(dòng)的、可運(yùn)輸?shù)撵o電襯底保持設(shè)備（1；11），該靜電襯底保持設(shè)備具有襯底保持器（2；20；30；40；50）以及用于襯底保持器（2；20；30；40；50）的載體（3），所述襯底保持器包括至少一個(gè)包括電極對(duì)（31.1,31.2,32.1,32.2,33.1,33.2,34.1,34.2；41.1,41.2,42.1,42.2,43.1,43.2,44.1,44.2）的保持裝置（31,32,33,34；41,42,43,44），其中襯底保持器（2；20；30；40；50）經(jīng)由至少一個(gè)側(cè)邊緣（2a，2b，2c，2d）至少最大程度熱去耦地與所述載體（3）機(jī)械連接。

2.?根據(jù)上述權(quán)利要求之一的襯底保持設(shè)備，其中襯底保持器（2，20，30，40；50）通過(guò)一個(gè)或多個(gè)、具有熱絕緣材料的接片（4，5）與載體（3）連接。

3.?根據(jù)上述權(quán)利要求之一的襯底保持設(shè)備，其中載體（3）具有自己的儲(chǔ)能裝置，該儲(chǔ)能裝置具有電荷存儲(chǔ)器，并且載體（3）能夠與至少一個(gè)保持裝置（31,32,33,34；41,42,43,44）電連接。

4.?根據(jù)權(quán)利要求3的襯底保持設(shè)備，其特征在于，載體（3）具有電路，以便轉(zhuǎn)換在至少一個(gè)保持裝置（31-34,41-44）處的電壓和/或進(jìn)行受控的接通和關(guān)斷。

5.?根據(jù)權(quán)利要求3或4的襯底保持設(shè)備，其特征在于，保持裝置（31,32,33,34；41,42,43,44）和載體（3）之間的電連接至少局部地被熱絕緣材料包圍。

6.?根據(jù)權(quán)利要求3至5之一的襯底保持設(shè)備，其特征在于，電荷存儲(chǔ)器或與其連接的電路被構(gòu)造為用于對(duì)至少一個(gè)保持裝置（31,32,33,34；41,42,43,44）的電極（31.1,31.2,32.1,32.2,33.1,33.2,34.1,34.2；41.1,41.2,42.1,42.2,43.1,43.2,44.1,44.2）進(jìn)行非對(duì)稱(chēng)的電勢(shì)供應(yīng)。

7.?根據(jù)上述權(quán)利要求之一的襯底保持設(shè)備，其特征在于，載體（3）構(gòu)造為框形。

8.?根據(jù)上述權(quán)利要求之一的襯底保持設(shè)備，其特征在于，載體（3）構(gòu)成為插座。

9.?根據(jù)上述權(quán)利要求之一的襯底保持設(shè)備，其特征在于，載體（3）具有電接觸部位和/或用于電感式能量傳輸?shù)难b置。

10.?根據(jù)上述權(quán)利要求之一的襯底保持設(shè)備，其特征在于，襯底保持器（2，20，30，40；50）具有多個(gè)保持裝置（31,32,33,34；41,42,43,44）。

11.?根據(jù)權(quán)利要求10的襯底保持設(shè)備，其特征在于，多個(gè)保持裝置（31,32,33,34）并行地連接到同一個(gè)電荷存儲(chǔ)器，或者每個(gè)保持裝置（41,42,43,44）連接到自己的電荷存儲(chǔ)器。

12.?根據(jù)上述權(quán)利要求之一的襯底保持設(shè)備，其特征在于，一個(gè)或多個(gè)保持裝置（31,32,33,34；41,42,43,44）的電極的連接端在襯底保持器（2，20，30，40；50）的正面上向外引出，或者通過(guò)孔洞或者圍繞襯底保持器（2，20，30，40；50）的棱邊引出到襯底保持器（2，20，30，40；50）的背面上。

13.?根據(jù)上述權(quán)利要求之一的襯底保持設(shè)備，其特征在于，多個(gè)保持裝置（31,32,33,34；41,42,43,44）在襯底保持器（2；20；30；40；50）內(nèi)或在襯底保持器（2；20；30；40；50）上相互連接。

14.?根據(jù)上述權(quán)利要求之一的襯底保持設(shè)備，其中至少一個(gè)保持裝置（31,32,33,34；41,42,43,44）平放地布置在襯底保持器（2；20；30；40；50）的平坦的平面中，其中襯底保持器的平坦的平面在側(cè)面由至少一個(gè)側(cè)邊緣（2a，2b，2c，2d）限制。

15.?根據(jù)上述權(quán)利要求之一的襯底保持設(shè)備，其中襯底保持器（50）在正面（12）上以及在背離正面的背面（13）上分別具有至少一個(gè)保持裝置（31,32,33,34；41,42,43,44）。