[發(fā)明專利]分光傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201180056291.0
• 申請日: 2011-09-21
• 公開（公告）號: CN103221792A
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 柴山勝己;高坂正臣
• 申請（專利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會社
• 主分類號: G01J3/02
• 分類號: G01J3/02;G01J1/04;G01J3/26
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種分光傳感器，其特征在于，

具備：

多個干涉濾波部，具有腔體層以及經(jīng)由所述腔體層而相對的第1和第2鏡面層，并使規(guī)定的波長范圍的光根據(jù)入射位置選擇性地透過；

光透過基板，配置在所述第1鏡面層側(cè)，使入射至所述干涉濾波部的光透過；以及

光檢測基板，配置在所述第2鏡面層側(cè)，檢測透過了所述干涉濾波部的光，

所述第2鏡面層，在每個所述干涉濾波部被分離，

所述腔體層遍及所述干涉濾波部的各個而一體地形成，所述腔體層的一部分進(jìn)入相鄰的所述第2鏡面層間的區(qū)域。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分光傳感器，其特征在于，

所述第1鏡面層在每個所述干涉濾波部被分離，

用于在所述第1鏡面層上接合所述光透過基板的光學(xué)樹脂層，進(jìn)入相鄰的所述第1鏡面層間的區(qū)域。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的分光傳感器，其特征在于，

還具備：以與所述第1鏡面層相對的方式形成在所述光透過基板上，并使所述規(guī)定的波長范圍的光透過的光學(xué)濾波層。