[發明專利]檢漏儀

有效

• 申請號: 201180052834.1
• 申請日: 2011-09-29
• 公開（公告）號: CN103189724A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 松本善和;瀨戶規正;中邨大輔;前田章弘
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20;F04D19/04
• 代理公司: 北京英特普羅知識產權代理有限公司 11015
• 代理人: 齊永紅

技術領域

本發明涉及一種檢漏儀，是一種便于使用的裝置，可進行早期測漏。

背景技術

以往已知的是使用一種檢測儀來測漏（泄漏測試），檢測密閉容器、配管或閥門等測試體有無微小的泄漏。這種檢漏儀通常使用具有質量分析管、渦輪分子泵及設置在該渦輪分子泵的背壓側的前置泵的裝置，其中所述質量分析管可將泄漏到真空中的示蹤氣體當做離子電流而進行定量檢測，所述渦輪分子泵在外殼內具有多級交替裝設在旋轉軸上的動葉片和靜葉片，設置有驅動源來旋轉驅動旋轉軸。此時，已知的裝置是如圖4所示，與渦輪分子泵a的進氣口a1連通的主管線b的端部和圖外的測試體經連接管連接，且在該主管線b上插設有質量分析管c，例如專利文獻1。

此處，渦輪分子泵a的進氣口a1通常與位于最頂端的動葉片a2相對（即渦輪分子泵a的排氣速度最快的地方）設置。據此，由于在導入測試體的測試端口的氦氣等的示蹤氣體所流通的主管線b上存在質量分析管c，所以具有檢測靈敏度高，對氦氣的反應速度也快的優點。

但是，在上述以往的例子中，由于是質量分析管c和進氣口a1連通、兩者間不產生壓力差的結構，所以進氣口a1的壓力存在問題，一旦未到達質量分析管c可運行測量的壓力，則無法開始泄漏測試。為此，例如增大測試體的容積，當花時間對其內部抽真空時，泄漏測試開始前會耗費時間，使用不便。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1:專利第2655315號公報

發明內容

發明要解決的技術問題

鑒于以上內容，本發明的要解決的技術問題是提供一種好的檢漏儀，其不會損害檢測靈敏度高、對氦氣的反應速度也快等功能，在測試體開始抽真空后可迅速開始泄漏測試，便于使用。

解決技術問題的手段

為解決上述技術問題，本發明其特征在于：具有質量分析管，其檢測示蹤氣體；渦輪分子泵，其在外殼內具有多級交替安裝在旋轉軸上的動葉片和靜葉片，設置有驅動源來旋轉驅動旋轉軸，該渦輪分子泵的進氣口和測試體經連接管連接，從該測試體內將示蹤氣體導入到質量分析管進行測漏，所述外殼中，與位于最高真空側的動葉片相對的壁面上，與測試體連通的進氣口和連接有質量分析管的連接端口彼此分隔開設。

根據本發明，在泄漏測試開始之前，例如經連接管連接測試體的測試端口和檢漏儀的進氣口（或從進氣口延伸出的主管線的端部）。接著，運行渦輪分子泵（通常在渦輪分子泵的背壓側設置前置泵，通過該前置泵將測試體大致抽真空。另外，也可在測試體上設置有真空泵時運行該真空泵）。將測試體逐漸抽真空。此時，質量分析管也被抽真空。此處，在本發明中，由于渦輪分子泵的外殼中最高真空側的動葉片（例如在構成動葉片的各葉片向著旋轉軸的直徑方向外側設置的裝置中，以從驅動源朝向動葉片的方向為上，位于最頂端的動葉片）的相對的壁面上分隔配置有進氣口和連接端口，所以通過存在于該壁面內側和最高真空側的動葉片之間的空間的電導，進氣口和連接端口之間產生壓力差（即連接端口的壓力變得比進氣口低）。為此，質量分析管內的壓力如果達到可運行測量的壓力的話，則能夠與進氣口的圧力、進而與測試體內的壓力無關地開始泄漏測試。

例如設置在連接端口上的真空計一達到規定值后就開始泄漏測試。此時，從測試體外側局部地噴出作為示蹤氣體的氦氣，如存在泄漏，則該氦氣被抽入測試體內經連接管導入渦輪分子泵的進氣口。此處，從測試體內向渦輪分子泵的進氣口導入的氣體中，氮和氧等大氣中大量含有的成分在存在于上述壁面內側和最高真空側的動葉片之間的上述空間內的擴散性低，而被最高真空側的動葉片排出。

另一方面，通常用作示蹤氣體的氦氣等比上述氮和氧輕，導入上述空間時的平均速度變快。因此，示蹤氣體在該空間的擴散性高，示蹤氣體經進氣口也多到達質量分析管。其結果是不會損害檢測靈敏度高、對氦氣的反應速度也快等功能，能可靠地進行泄漏檢測。

在本發明中，可將進氣口和連接端口之間的電導設為進氣口的有效排氣速度的1/10以下。由此，可使進氣口和連接端口之間至少產生一位數以上的壓力差，可在測試體開始抽真空后迅速開始泄漏測試。此時，上述空間的電導可考慮渦輪分子泵自身的排氣速度或氣體種類，對例如該空間的容積（例如框體內面和最頂端的動葉片之間的距離）、連接端口及進氣口的開口尺寸或進氣口和連接端口的各孔軸間的距離進行適當設置而調節。

附圖說明

圖1是本發明的檢漏儀的結構示意圖。

圖2是沿圖1的II-II線的剖面圖。

圖3是顯示實驗結果的圖表。