[發(fā)明專利]檢漏儀有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201180052834.1 | 申請日： | 2011-09-29 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN103189724A | 公開（公告）日： | 2013-07-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 松本善和;瀨戶規(guī)正;中邨大輔;前田章弘 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社愛發(fā)科 |
| 主分類號(hào)： | G01M3/20 | 分類號(hào)： | G01M3/20;F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京英特普羅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11015 | 代理人： | 齊永紅 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 檢漏 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種檢漏儀，其特征在于：
具有
質(zhì)量分析管，其檢測示蹤氣體；
渦輪分子泵，其在外殼內(nèi)具有多級(jí)交替安裝在旋轉(zhuǎn)軸上的動(dòng)葉片和靜葉片，設(shè)置有驅(qū)動(dòng)源來旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸；
該渦輪分子泵的進(jìn)氣口和測試體經(jīng)連接管連接，從該測試體內(nèi)將示蹤氣體導(dǎo)入到質(zhì)量分析管中進(jìn)行測漏；
所述外殼中，與位于最高真空側(cè)的動(dòng)葉片相對的壁面上，與測試體連通的進(jìn)氣口和連接有質(zhì)量分析管的連接端口彼此分隔開設(shè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢漏儀，其特征在于：
構(gòu)成為進(jìn)氣口和連接端口之間的電導(dǎo)變?yōu)檫M(jìn)氣口的有效排氣速度的1/10以下。
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