[發(fā)明專利]形狀測定裝置、形狀測定方法、構(gòu)造物的制造方法及程序

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201180051998.2
• 申請日: 2011-10-27
• 公開（公告）號: CN103180691A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發(fā)明（設計）人: 神藤建太
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G01B21/20
• 分類號: G01B21/20;G01B11/24
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及形狀測定裝置、形狀測定方法、構(gòu)造物的制造方法及程序。

背景技術(shù)

在測定被檢測物的三維形狀的形狀測定裝置(坐標測定裝置)是有保持檢測部至被檢測物的距離并沿被檢測物形狀使檢測部移動來測定者(參照例如專利文獻1)。作為上述測定三維形狀的方法，已知有對被檢測物照射狹縫光而從對應被檢測物的剖面形狀所形成的光切斷線測定被檢測物的三維形狀的光切斷法。又，近年來，復雜形狀的被檢測物是被要求提高精度來測定。能適用上述要求的坐標測定裝置，是在測定被檢測物的三維形狀前，為了提高測定的正確性及效率而進行登錄測定區(qū)域的教示處理。

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開平2010－160084號公報

發(fā)明內(nèi)容

例如，專利文獻1所記載的坐標測定裝置，是控制多個正交軸與多個旋轉(zhuǎn)軸的位置，而控制檢測部與被檢測物的相對配置。因此，隨著被檢測物的旋轉(zhuǎn)，檢測部與被檢測物的最佳位置會在每次變化。使用者，是一邊考量適于坐標測定裝置的測定的測定條件，一邊進行將對被檢測物的測定位置登錄于坐標測定裝置的教示作業(yè)。因此，儲存一邊控制被檢測物的姿勢、一邊使其測定位置移動的順序的教示作業(yè)是困難。特別是，在借由能提高測定精度的光切斷法等的測定，能借由使檢測部與被檢測部的相對配置最佳化，而能進行更提高精度的測定。因此，對測定時的姿勢的要求較高時，教示作業(yè)更為困難。

又，一邊確認被檢測物的狀態(tài)、一邊進行教示作業(yè)的情形，在測定的開始位置及結(jié)束位置的指定，有時會有對被檢測物照射狹縫光而無法確認的情形。在此種位置，使用者不得不想象大概的位置及姿勢來進行教示作業(yè)。如上述，根據(jù)大概的位置及姿勢的測定，正確性差，進而其教示作業(yè)本身需要非常多時間。如此，現(xiàn)有習知的坐標測定裝置的教示處理，是根據(jù)上述作業(yè)順序者，而有無法使對被檢測物的測定區(qū)域的設定處理簡化的問題。

因此，本發(fā)明有鑒于上述問題，其課題在于簡化對被檢測物的測定區(qū)域的設定處理(教示處理)。

為了解決上述問題，本發(fā)明的一個結(jié)構(gòu)，為一種形狀測定裝置，是測定具有三維形狀的被檢測物的表面形狀，其中具備：檢測部，檢測具有三維形狀的被檢測物的表面形狀；以及區(qū)域設定部，根據(jù)指定區(qū)域的形狀信息，將與前述指定區(qū)域相鄰的區(qū)域設定為測定區(qū)域。

又，本發(fā)明的一個結(jié)構(gòu)，為一種形狀測定方法，其特征在于，包含：檢測具有三維形狀的被檢測物的表面形狀的動作；以及根據(jù)指定區(qū)域的形狀信息，將與前述指定區(qū)域相鄰的區(qū)域設定為測定區(qū)域的動作。進而，本發(fā)明的一個結(jié)構(gòu)，為一種構(gòu)造物的制造方法，其特征在于，具有：制作與構(gòu)造物形狀相關(guān)的設計信息的動作；根據(jù)前述設計信息制作前述構(gòu)造物的動作；使用本發(fā)明的其他結(jié)構(gòu)的三維形狀測定方法測定所制作的前述構(gòu)造物的形狀的動作；以及比較借由測定取得的形狀信息與前述設計信息并檢查的動作。

又，本發(fā)明的一個結(jié)構(gòu)，為一種程序，是用以使形狀測定裝置所具備的計算機執(zhí)行：檢測具有三維形狀的被檢測物的表面形狀的動作；以及根據(jù)與指定區(qū)域的表面形狀對應的形狀信息，將與前述指定區(qū)域相鄰的區(qū)域設定為測定區(qū)域的動作。

根據(jù)本發(fā)明，能在被檢測物的三維形狀測定中，簡化對被檢測物的測定區(qū)域的設定處理。

附圖說明

圖1是顯示本發(fā)明一個實施形態(tài)的三維形狀測定裝置(坐標測定裝置)的概略構(gòu)成的示意圖。

圖2是本實施形態(tài)的測定機本體的方框圖。

圖3是顯示本實施形態(tài)的對被檢測物的測定登錄處的圖。

圖4是顯示對與圖3所示被檢測物相異的形狀的被檢測物的測定登錄處的圖。

圖5是顯示使本實施形態(tài)的教示處理簡化的順序的流程圖。

圖6是構(gòu)造物制造系統(tǒng)的方框構(gòu)成圖。

圖7是顯示借由構(gòu)造物制造系統(tǒng)的處理流程的流程圖。

【主要元件代表符號】

100：三維形狀測定裝置(坐標測定裝置)

20：檢測部

58：區(qū)域設定部

具體實施方式

以下根據(jù)圖式詳細說明本發(fā)明的實施形態(tài)。本發(fā)明的實施形態(tài)中，是根據(jù)顯示在預先決定的指定區(qū)域檢測出的表面形狀的形狀測定數(shù)據(jù)，將與前述指定區(qū)域相鄰的區(qū)域設定為測定區(qū)域。