[發明專利]形狀測定裝置、形狀測定方法、構造物的制造方法及程序

有效

• 申請號: 201180051998.2
• 申請日: 2011-10-27
• 公開（公告）號: CN103180691A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發明（設計）人: 神藤建太
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G01B21/20
• 分類號: G01B21/20;G01B11/24
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧

1.一種形狀測定裝置，是測定具有三維形狀的被檢測物的表面形狀，其特征在于，具備：

檢測部，檢測具有三維形狀的被檢測物的表面形狀；以及

區域設定部，根據指定區域的形狀信息，將與前述指定區域相鄰的區域設定為測定區域。

2.根據權利要求1所述的形狀測定裝置，其特征在于其中前述區域設定部，根據預先測定的前述指定區域的形狀信息，將與前述指定區域相鄰的區域設定為測定區域。

3.根據權利要求1所述的形狀測定裝置，其特征在于其中前述區域設定部，根據在前述指定區域的設計信息的形狀信息，將與前述指定區域相鄰的區域設定為測定區域。

4.根據權利要求1至3中任一權利要求所述的形狀測定裝置，其特征在于其中前述區域設定部具備外插處理部，該外插處理部根據前述形狀測定數據借由外插處理算定前述指定區域外的區域。

5.根據權利要求4所述的形狀測定裝置，其特征在于其中在前述測定區域包含前述指定區域；

前述檢測部，從前述指定區域外的區域進行檢測，在其后檢測前述指定區域。

6.根據權利要求5所述的形狀測定裝置，其特征在于其中前述指定區域外的區域的范圍被預先決定。

7.根據權利要求4至6中任一權利要求所述的形狀測定裝置，其特征在于其中前述外插處理部，具備根據前述指定區域端部附近的前述形狀測定數據算定近似于前述被檢測物的表面形狀的曲線且根據該算定的曲線決定前述指定區域外的區域的延長方向的一次微分運算部、二次微分運算部或線形運算部的任一者；

前述一次微分運算部在與前述曲線的傾斜相同的方向決定前述指定區域外的區域的延長方向；

前述二次微分運算部在前述曲線的傾斜的變化量為一定的方向決定前述指定區域外的區域的延長方向；

前述線形運算部是使近似于前述被檢測物的表面形狀的曲線近似于直線而算定，在延長該直線的方向決定前述指定區域外的區域的延長方向。

8.根據權利要求4至7中任一權利要求所述的形狀測定裝置，其特征在于其中前述外插處理部，是針對前述延長的測定區域的范圍，將從前述指定區域的端部至預先決定的既定距離為止、至到達預先決定的既定限制區域為止、或至根據從前述指定區域內的前述被檢測物的形狀決定的形狀信息算定前述被檢測物能存在的極限位置而包含前述算定的極限位置的位置為止的任一者作為范圍，算定沿前述算定的曲線延長的距離。

9.根據權利要求4至8中任一權利要求所述的形狀測定裝置，其特征在于其中前述區域設定部具備內插處理部，前述內插處理部是根據一邊使前述檢測部沿前述被檢測物表面相對移動、一邊檢測出的形狀測定數據借由內插處理而取得形狀測定數據；

前述外插處理，是根據前述取得的形狀測定數據與借由前述內插處理取得的形狀測定數據進行外插處理。

10.根據權利要求1至9中任一權利要求所述的形狀測定裝置，其特征在于其具備：驅動機構，是在以彼此正交的X軸、Y軸、以及Z軸所規定的正交坐標系統，將前述檢測部與前述被檢測物相對沿X軸方向、Y軸方向、以及Z軸方向驅動。

11.根據權利要求10的形狀測定裝置，其特征在于其中前述驅動機構，進一步以前述X軸、Y軸、以及Z軸中的至少一個軸為中心使前述檢測部與前述被檢測物相對旋轉。

12.根據權利要求1至11中任一權利要求所述的形狀測定裝置，其特征在于其中前述檢測部，具備下述中的至少一個檢測機構：

光切斷型檢測部，借由投影至前述被檢測物的線狀的光，根據形成于前述被檢測物表面的陰影圖案取得前述形狀測定數據；

取得影像轉換型檢測部，是根據已拍攝前述被檢測物的形狀的影像數據取得前述形狀測定數據；以及

接觸型檢測部，是接觸前述被檢測物而取得前述形狀測定數據。

13.根據權利要求1至12中任一權利要求所述的形狀測定裝置，其特征在于其進一步具備輸入部，能輸入顯示在前述指定區域使前述檢測部配置的狀態的信息。