[發明專利]銅蝕刻廢液的處理方法

有效

• 申請號: 201180043075.2
• 申請日: 2011-09-06
• 公開（公告）號: CN103097302A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 中原敏次
• 申請（專利權）人: 栗田工業株式會社
• 主分類號: C02F1/58
• 分類號: C02F1/58;C02F1/62;C22B3/44;C22B15/00;C23F1/00;C23F1/18
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 張永康;向勇

技術領域

本發明涉及從液晶制造工序等所排出的含有過氧化氫的銅蝕刻廢液的處理方法。

背景技術

液晶制造工序中的銅蝕刻處理，通常使用含有高濃度的過氧化氫的藥劑。因此，從銅蝕刻工序所排出的銅蝕刻廢液中含有高濃度的過氧化氫，其過氧化氫濃度通常為1重量%以上，有時會有高至6重量%左右的情形。

以往以來，由于過氧化氫濃度高的銅蝕刻廢液，進行水處理較困難，因此，稀釋后作為產業廢棄物進行處理，但是如過氧化氫濃度高時，則在產業廢棄物處理時有爆炸的危險性，即使供為廢液處理時，仍然需要預先將過氧化氫加以處理。

作為過氧化氫的處理方法，一般使用：活性炭、過氧化氫酶(catalase)、錳催化劑(manganese?catalyst)等，但是如過氧化氫濃度在超過1000mg/L時，則有催化劑性能的低落或催化劑使用量增大等的課題。因此，如對過氧化氫濃度為1重量%以上的銅蝕刻廢液，適用此種處理方法時，在實用上有問題。

以往以來，作為含有高濃度的過氧化氫的銅蝕刻廢液中所含的過氧化氫的處理方法，有人提出將銅蝕刻廢液加熱為60至80℃，并在該溫度范圍維持0.5至10小時的方法(專利文獻1)。

然而，該方法中，具有過氧化氫的分解需要加熱用的熱能量、并且分解所需要的時間長的缺點。實際上，在專利文獻1的實施例中，將銅蝕刻廢液加熱為80℃后保持7小時以分解過氧化氫。

又，也有在處理含高濃度過氧化氫的溶液之前，使用處理水等使其稀釋以降低過氧化氫濃度后再依常規方法加以處理的方法，但是此種方法需要稀釋水，另外，有徒然增加處理液量，結果有反應槽等會大型化的問題。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2004-238683號公報

發明內容

[發明所要解決的課題]

本發明的課題在于提供一種即使含有高濃度的過氧化氫的銅蝕刻廢液，仍能有效分解處理銅蝕刻廢液中的過氧化氫的方法。

[解決課題的方法]

本發明人為解決上述課題而專心研究的結果發現，將通常為pH3以下的屬于強酸性液的銅蝕刻廢液的pH調整為4以上時，則發生含有銅的SS(Suspended?solid：懸浮污泥)，而所發生的SS能作為過氧化氫的分解催化劑發揮功能，因此，僅調整銅蝕刻廢液為pH4以上，則不需要稀釋或加熱，并且，不需要調整pH的堿劑以外的藥品，就能有效分解銅蝕刻廢液中的過氧化氫。

本發明，是根據此種認識而完成的，并且以下列技術方案作為要旨。

第1技術方案的銅蝕刻廢液的處理方法，其特征在于，其包含將含有過氧化氫的銅蝕刻廢液調整至pH4以上的工序。

第2技術方案的銅蝕刻廢液的處理方法，其特征在于，在第1技術方案中，其包含將通過前述將含有過氧化氫的銅蝕刻廢液調整至pH4以上的工序所發生的SS（Suspended?solid：懸浮污泥）進行固液分離(solid-liquid?separation)的工序。

第3技術方案的銅蝕刻廢液的處理方法，其特征在于，在第2技術方案中，其包含將經固液分離的前述SS的一部分或全部添加于含有過氧化氫的銅蝕刻廢液中的工序。

第4技術方案的銅蝕刻廢液的處理方法，其特征在于，在第2或3技術方案中，其包含將經固液分離的前述SS進行回收的工序。

第5技術方案的銅蝕刻廢液的處理方法，其特征在于，在第1至4中的任一技術方案中，其包含將通過前述含有過氧化氫的銅蝕刻廢液的處理所得到的處理水作為稀釋水添加于前述含有過氧化氫的銅蝕刻廢液中的工序。

第6技術方案的銅蝕刻廢液的處理方法，其特征在于，在第1至5中的任一技術方案中，前述含有過氧化氫的銅蝕刻廢液的過氧化氫濃度為1重量%以上、且pH為3以下。

第7技術方案的銅蝕刻廢液的處理方法，其特征在于，在第6技術方案中，前述含有過氧化氫的銅蝕刻廢液的過氧化氫濃度為1～10重量%、pH為1～3，并且，過氧化氫以外的成分含量為：銅0.1～1.0重量%、總氮0.3～2.0重量%、TOC（total?organic?carbon：總有機碳）0.5～3.0重量%。

第8技術方案的銅蝕刻廢液的處理方法，其特征在于，在第1至7中的任一技術方案中，其于前述含有過氧化氫的銅蝕刻廢液中添加堿劑調整pH至6～9。

第9技術方案的銅蝕刻廢液的處理方法，其特征在于，在第2至8中的任一技術方案中，其將前述含有過氧化氫的銅蝕刻廢液調整至pH4以上并使反應0.25～2.0小時，然后，將所發生的SS進行固液分離。