[發明專利]水反應性Al復合材料、水反應性Al噴鍍膜、該Al噴鍍膜的制造方法及成膜室用構成構件

有效

• 申請號: 201180041807.4
• 申請日: 2011-08-12
• 公開（公告）號: CN103228814A
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發明（設計）人: 門脅豐;齋藤朋子;蟲明克彥
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: C23C4/06
• 分類號: C23C4/06;C22C21/00;C23C14/00;C23C16/44
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 賈成功

1.一種水反應性A?l復合材料，其特征在于，在Al中，以Al基準計，添加2.0～3.5wt％的In、0.2～0.5wt％的Si、0.13～0.25wt％的Ti而成。

2.一種水反應性Al噴鍍膜的制造方法，其特征在于，將在Al中、以Al基準計、添加了2.0～3.5wt％的In、0.2～0.5wt％的Si、0.13～0.25wt％的Ti的材料熔融以使組成均勻，將該熔融材料對基材表面噴鍍后使其驟冷凝固，由此進行成膜。

3.一種水反應性Al噴鍍膜，其特征在于，由權利要求1所述的水反應性Al復合材料構成。

4.一種成膜裝置的成膜室用構成構件，其特征在于，在表面具備由權利要求1所述的水反應性Al復合材料構成的水反應性Al噴鍍膜或通過權利要求2所述的方法制造的水反應性Al噴鍍膜。

5.如權利要求4所述的成膜室用構成構件，其特征在于，所述構成構件為防粘板、開閉器或掩模。