[發明專利]顯示面板及其制造方法

有效

• 申請號: 201180041201.0
• 申請日: 2011-07-07
• 公開（公告）號: CN103080994A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發明（設計）人: 小笠原功;齊藤達治;森純一;小川勝也;谷本和憲
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: G09F9/30
• 分類號: G09F9/30;G02F1/1345;G09F9/00
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 權鮮枝

技術領域

本發明涉及顯示面板及其制造方法。“顯示面板”例如是液晶顯示面板。即使是液晶顯示面板以外的顯示面板，也能應用本發明。

背景技術

作為具備底柵型TFT元件的顯示面板的一種，已知液晶顯示面板。該液晶顯示面板的一例在特開2005-17926號公報（專利文獻1）中示出。在專利文獻1中，利用用于形成柵極電極的導電膜形成柵極配線，在與柵極配線正交的方向形成源極配線。在柵極配線的端部形成柵極端子，在源極配線的端部形成源極端子。

用于處理具備底柵型TFT元件的顯示面板的各種問題的技術在特開2009-128761號公報（專利文獻2）、特開平11-153809號公報（專利文獻3）、特開2009-80279號公報（專利文獻4）中被提到。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：特開2005-17926號公報

專利文獻2：特開2009-128761號公報

專利文獻3：特開平11-153809號公報

專利文獻4：特開2009-80279號公報

發明內容

發明要解決的問題

作為端子區域的端子，有利用了柵極金屬層的柵極端子和利用了源極金屬層的源極端子。通常如專利文獻1所示，用顯示區域的外側的2邊，將多個柵極端子和多個源極端子分別在各邊分開排列。但是，還存在沿著顯示區域的1個邊排列多個柵極端子和多個源極端子兩者的情況。下面，在提到顯示面板結構中的上下關系時，假定將基板的某側設為下，向上按順序層疊。

柵極金屬層比柵極絕緣膜靠下側，源極金屬層比柵極絕緣膜靠上側。柵極端子和柵極端子引出線除了柵極端子表面中的真正用于電連接的部分以外，處于被柵極絕緣膜覆蓋的狀態，因此，在進行后工序的各種處理時，柵極端子的一部分和柵極端子引出配線被柵極絕緣膜保護。

而源極端子和源極端子引出線比柵極絕緣膜靠上側，因此，不能被柵極絕緣膜覆蓋、保護，容易露出。因此，在進行后工序的各種處理時，源極端子和源極端子引出線有可能損傷、腐蝕或斷線。特別是源極端子引出線較細，通常是3～5μm程度的寬度，因此，有可能斷線。

因此，本發明的目的在于，提供在通過柵極金屬層和源極金屬層的組合配置而沿著1個邊形成顯示面板的外部連接端子的結構中，能保護源極端子引出線的結構及其制造方法。

此外，在此整理各用語的含義。針對在顯示區域中矩陣地、平行地延伸多根的配線，將與TFT元件的柵極電極電連接的配線稱為“柵極配線”，將與TFT元件的源極電極電連接的配線稱為“源極配線”。在端子區域中為了與柵極配線、源極配線中的任一根分別進行某種電連接而形成有多個端子。將利用了柵極金屬的端子稱為“柵極端子”，將為了引出柵極端子而由柵極金屬形成的配線稱為“柵極端子引出線”。將利用了源極金屬的端子稱為“源極端子”，將為了引出源極端子而由源極金屬形成的配線稱為“源極端子引出線”。不是必須形成柵極端子來進行柵極配線的連接，形成源極端子來進行源極配線的連接。例如，還存在把利用了柵極金屬的端子，即柵極端子連接于源極配線的情況。在這種情況下，設有實現在該源極配線和該柵極端子之間電連接的結構。

用于解決問題的方案

為了達到上述目的，基于本發明的顯示面板，其具有：包含多個像素的顯示區域；俯視時配置在上述顯示區域的外側的端子區域；以及介于上述顯示區域和上述端子區域之間的中間區域，上述顯示面板具有用于驅動上述像素的驅動元件，上述驅動元件具備：柵極電極；覆蓋上述柵極電極的柵極絕緣膜；以及部分地覆蓋上述柵極絕緣層的源極電極，在上述端子區域中，由與上述柵極電極同層的柵極金屬層形成的多個柵極端子和由與上述源極電極同層的源極金屬層形成的多個源極端子在俯視時交替地排列，由上述源極金屬層形成的源極端子引出線從上述多個源極端子分別向上述中間區域延伸，在上述中間區域和上述端子區域中，以覆蓋上述源極端子引出線的方式設有無機絕緣膜，在上述中間區域中，以覆蓋上述無機絕緣膜的方式設有有機絕緣膜，上述端子區域中的上述無機絕緣膜的厚度比上述中間區域中的上述無機絕緣膜的厚度小，上述無機絕緣膜在上述端子區域中具有使上述源極端子的表面的至少一部分露出的開口部。

發明效果