[發(fā)明專利]顯示面板及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201180041201.0
• 申請(qǐng)日: 2011-07-07
• 公開（公告）號(hào): CN103080994A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小笠原功;齊藤達(dá)治;森純一;小川勝也;谷本和憲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 夏普株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G09F9/30
• 分類號(hào): G09F9/30;G02F1/1345;G09F9/00
• 代理公司: 北京市隆安律師事務(wù)所 11323
• 代理人: 權(quán)鮮枝

1.一種顯示面板，其具有：

包含多個(gè)像素的顯示區(qū)域（81）；

俯視時(shí)配置在上述顯示區(qū)域的外側(cè)的端子區(qū)域（83）；以及

介于上述顯示區(qū)域和上述端子區(qū)域之間的中間區(qū)域（82），

上述顯示面板具有用于驅(qū)動(dòng)上述像素的驅(qū)動(dòng)元件，

上述驅(qū)動(dòng)元件具備：柵極電極（21）；覆蓋上述柵極電極的柵極絕緣膜（2）；以及部分地覆蓋上述柵極絕緣層的源極電極（22），

在上述端子區(qū)域中，由與上述柵極電極同層的柵極金屬層形成的多個(gè)柵極端子（13）和由與上述源極電極同層的源極金屬層形成的多個(gè)源極端子（14）在俯視時(shí)交替地排列，

由上述源極金屬層形成的源極端子引出線（16）從上述多個(gè)源極端子分別向上述中間區(qū)域延伸，

在上述中間區(qū)域和上述端子區(qū)域中，以覆蓋上述源極端子引出線的方式設(shè)有無機(jī)絕緣膜（5），

在上述中間區(qū)域中，以覆蓋上述無機(jī)絕緣膜的方式設(shè)有有機(jī)絕緣膜（6），

上述端子區(qū)域中的上述無機(jī)絕緣膜的厚度比上述中間區(qū)域中的上述無機(jī)絕緣膜的厚度小，

上述無機(jī)絕緣膜在上述端子區(qū)域中具有使上述源極端子的表面的至少一部分露出的開口部。

2.一種顯示面板，其具有：

包含多個(gè)像素的顯示區(qū)域（81）；

俯視時(shí)配置在上述顯示區(qū)域的外側(cè)的端子區(qū)域（83）；以及

介于上述顯示區(qū)域和上述端子區(qū)域之間的中間區(qū)域（82），

上述顯示面板具有用于驅(qū)動(dòng)上述像素的驅(qū)動(dòng)元件，

上述驅(qū)動(dòng)元件具備：柵極電極（21）；覆蓋上述柵極電極的柵極絕緣膜（2）；以及部分地覆蓋上述柵極絕緣層的源極電極（22），

在上述端子區(qū)域中，由與上述柵極電極同層的柵極金屬層形成的多個(gè)柵極端子（13）和由與上述源極電極同層的源極金屬層形成的多個(gè)源極端子（14）在俯視時(shí)交替地排列，

由上述源極金屬層形成的源極端子引出線（16）從上述多個(gè)源極端子分別向上述中間區(qū)域延伸，

在上述中間區(qū)域中，設(shè)有以覆蓋上述源極端子引出線的方式形成的無機(jī)絕緣膜（5）和以覆蓋上述無機(jī)絕緣膜的方式形成的有機(jī)絕緣膜（6），

上述中間區(qū)域包含：上述有機(jī)絕緣膜具有第1厚度的中間第1區(qū)域（82a）；和配置在上述中間第1區(qū)域和上述端子區(qū)域之間、上述有機(jī)絕緣膜具有比上述第1厚度薄的第2厚度的中間第2區(qū)域（82b），

上述無機(jī)絕緣膜在上述中間第2區(qū)域和上述端子區(qū)域的邊界處中斷，使上述源極端子的表面的至少一部分露出。

3.一種顯示面板的制造方法，上述顯示面板具有：

包含多個(gè)像素的顯示區(qū)域（81）；

配置在上述顯示區(qū)域的外側(cè)的端子區(qū)域（83）；以及

介于上述顯示區(qū)域和上述端子區(qū)域之間的中間區(qū)域（82），

上述顯示面板具有用于驅(qū)動(dòng)上述像素的驅(qū)動(dòng)元件，

上述顯示面板的制造方法包含如下工序：

在上述基板的表面形成柵極金屬層（41）；

對(duì)上述柵極金屬層進(jìn)行圖案化，形成多個(gè)柵極電極、從上述多個(gè)柵極電極分別延伸的柵極端子引出線（15）以及與上述柵極端子引出線的端部分別連接的多個(gè)柵極端子（13）；

以覆蓋上述多個(gè)柵極電極和上述柵極端子引出線的方式形成柵極絕緣膜（2）；

以覆蓋上述柵極絕緣膜的方式形成源極金屬層（42）；

對(duì)上述源極金屬層進(jìn)行圖案化，形成與上述多個(gè)柵極端子交替地排列的多個(gè)源極端子（14）和從上述多個(gè)源極端子分別延伸的源極端子引出線（16）；

以覆蓋上述多個(gè)源極端子和上述源極端子引出線的方式形成無機(jī)絕緣膜（5）；

以覆蓋上述無機(jī)絕緣膜的方式形成有機(jī)絕緣膜（6）；

用掩模（50）對(duì)上述有機(jī)絕緣膜進(jìn)行曝光，上述掩模（50）具有不使光透過的遮光部（51）、使光原樣透過的開口部（52）以及與上述遮光部和上述開口部均相鄰而使光以比上述開口部低的透射率透過的半色調(diào)部（53）；

通過使上述有機(jī)絕緣膜顯影來形成：上述有機(jī)絕緣膜厚的區(qū)域即中間區(qū)域（82）；和包含上述有機(jī)絕緣膜較薄地殘留的部分及沒有上述有機(jī)絕緣膜的部分的端子區(qū)域（83）；以及

將上述有機(jī)絕緣膜作為掩模來蝕刻上述無機(jī)絕緣膜，由此在沒有上述有機(jī)絕緣膜的部分使上述多個(gè)源極端子露出，且在上述端子區(qū)域中的上述有機(jī)絕緣膜較薄地殘留的部分，使上述有機(jī)絕緣膜消失而上述無機(jī)絕緣膜的厚度與被上述有機(jī)絕緣膜覆蓋的區(qū)域中的上述無機(jī)絕緣膜的厚度相比變薄。