[發明專利]玻璃硬盤基板用研磨液組合物

有效

• 申請號: 201180018363.2
• 申請日: 2011-04-20
• 公開（公告）號: CN102834480A
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發明（設計）人: 土居陽彥
• 申請（專利權）人: 花王株式會社
• 主分類號: C09K3/14
• 分類號: C09K3/14;B24B37/00;G11B5/84
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 蔣亭

1.一種玻璃硬盤基板用研磨液組合物，其為含有胺化合物、酸、二氧化硅粒子和水的玻璃硬盤基板用研磨液組合物，其中，所述胺化合物選自由氨基醇、哌嗪及哌嗪衍生物組成的組，該胺化合物的分子內具有2個或3個氮原子，其中至少1個為伯胺或者仲胺。

2.根據權利要求1所述的玻璃硬盤基板用研磨液組合物，其中，所述胺化合物選自由2-[(2-氨乙基)氨基]乙醇、2，2’-(亞乙基雙亞氨基)雙乙醇、N-(2-羥乙基)-N′-(2-氨乙基)乙二胺、2，2’-(2-氨乙基亞氨基)雙乙醇、N1，N4-雙(羥乙基)二亞乙基三胺、N1，N7-雙(羥乙基)二亞乙基三胺、1，3-二氨基-2-丙醇、哌嗪、1-甲基哌嗪、3-(1-哌嗪基)-1-丙胺、1-(2-氨乙基)哌嗪、4-甲基哌嗪-1-胺、1-哌嗪甲胺、4-乙基-1-哌嗪胺、1-甲基-4-(2-氨乙基)哌嗪及1-(2-羥乙基)哌嗪組成的組。

3.根據權利要求1或2所述的玻璃硬盤基板用研磨液組合物，其中，所述胺化合物選自由2-[(2-氨乙基)氨基]乙醇、1-(2-氨乙基)哌嗪以及1-(2-羥乙基)哌嗪組成的組。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的玻璃硬盤基板用研磨液組合物，其中，所述酸為選自由多元羧酸、一元羧酸、含磷有機酸及含磷無機酸組成的組中的酸。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的玻璃硬盤基板用研磨液組合物，其中，所述酸為選自由多元羧酸及一元羧酸組成的組中的酸。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的玻璃硬盤基板用研磨液組合物，其中，所述胺化合物在25℃下的蒸氣壓為0.2mmHg以下。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的玻璃硬盤基板用研磨液組合物，其中，所述研磨液組合物的pH值為0.5～4.0。

8.根據權利要求1～7中任一項所述的玻璃硬盤基板用研磨液組合物，其中，所述二氧化硅粒子是膠態二氧化硅粒子。

9.根據權利要求1～8中任一項所述的玻璃硬盤基板用研磨液組合物，其中，所述二氧化硅粒子的平均粒徑為5～200nm。

10.根據權利要求1～9中任一項所述的玻璃硬盤基板用研磨液組合物，其中，所述研磨液組合物中的所述胺化合物的含量為0.001～5重量％。

11.根據權利要求1～10中任一項所述的玻璃硬盤基板用研磨液組合物，其中，所述研磨液組合物中的所述酸的含量為0.05～10重量％。

12.根據權利要求1～11中任一項所述的玻璃硬盤基板用研磨液組合物，其中，所述研磨液組合物中的所述二氧化硅粒子的含量為1～20重量％。

13.根據權利要求1～12中任一項所述的玻璃硬盤基板用研磨液組合物，其中，所述研磨液組合物中，所述胺化合物和所述酸的重量比即胺化合物的重量/酸的重量為0.001～1.0。

14.根據權利要求1～13中任一項所述的玻璃硬盤基板用研磨液組合物，其中，所述玻璃硬盤基板為鋁硅酸鹽玻璃基板。

15.一種玻璃硬盤基板的制造方法，其包括使用權利要求1～14中任一項所述的研磨液組合物對玻璃硬盤基板進行循環研磨的工序。

16.根據權利要求15所述的玻璃硬盤基板的制造方法，其中，對每1cm2玻璃硬盤基板的所述研磨液組合物的供給速度為0.01～1.0mL/分鐘。

17.根據權利要求15或16所述的玻璃硬盤基板的制造方法，其中，所述循環研磨中的研磨載荷為3～40kPa。

18.根據權利要求15～17中任一項所述的玻璃硬盤基板的制造方法，其中，所述玻璃硬盤基板為鋁硅酸鹽玻璃基板。

19.一種玻璃硬盤基板的研磨方法，其包括使用權利要求1～14中任一項所述的研磨液組合物對玻璃硬盤基板進行循環研磨的工序。