[發明專利]用于在化學和/或電化學處理系統中輸送類板狀基板的裝置

有效

• 申請號: 201180007222.0
• 申請日: 2011-01-24
• 公開（公告）號: CN102844470A
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發明（設計）人: M.克雷奇;H.孔策;A.盧奇
• 申請（專利權）人: 安美特德國有限公司
• 主分類號: C25D7/06
• 分類號: C25D7/06;C23C18/16;B65G49/06
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張昱;楊炯

技術領域

本發明涉及一種用于在化學和/或電化學處理、尤其用于在導電層的無電沉積的系統中輸送類板狀基板的裝置，其具有獨立專利權利要求的特征。

背景技術

類板狀基板的化學或電化學處理是通過處理設備完成的。基板穿過容納有處理溶液的浴槽，由此涂層、尤其是金屬涂層、尤其是銅就沉積在類箔片狀或類板狀基板的表面上。類板狀基板例如是晶片、太陽能電池、撓性箔片、尤其是印刷電路(例如印刷電路板)以及導電箔片。通過多個相似的旋轉的輸送元件以水平方向輸送類板狀基板。輸送元件可以是動力驅動的，并且同時以作為用于類板狀基板的支承件和傳送驅動件為特征。每個旋轉的輸送元件通過雙側鉸接的旋轉輪軸形成。輪軸具有接觸和輸送基板的圓柱形罩殼表面，或者輪軸包括用于被布置在其長度上的類板狀基板的盤狀圓柱形支承元件，由此基板的下側靠在支承元件上，或者由此支承元件位于基板的上側。一對輪軸需要被精確地布置成平直的而且平行的，使得接觸基板的上側和下側的接觸區域精確地為一個在另一個上方。這樣可將類板狀基板的偏斜和變形、以及輪軸的偏心運轉減至最小。

旋轉的輸送元件以及接觸浴槽溶液的所有部件必需是化學惰性的。它們必須抵抗化學物質的侵襲，并且不與浴槽中的溶液進行相互作用。尤其是必需避免來源于處理浴槽的金屬沉積。因此，輪軸一般由塑料材料(例如，GfK(通過玻璃纖維增強的塑料)或CfK(通過碳纖維增強的塑料))或不銹鋼或鈦合金制成。盤狀支承元件一般由合適的熱塑材料制成。當小碎片溶解并且污染浴槽時，用于輪軸的GfK或CfK材料會產生問題。此外，使用未涂層的金屬輪軸可導致在輪軸上明顯且漸進的金屬沉積。經涂層的輪軸常常具有由于公差高而涂層厚度不規則的問題。

發明內容

本發明的目的在于建立一種化學惰性的且具有高同軸度的機械彈性旋轉的輸送元件，其能夠精確地引導和輸送類板狀基板而確保涂層和產品的高質量。

本發明的目的是通過獨立權利要求的裝置來獲得的。在從屬權利要求中描述了本發明的其它有利的實施例的其它特征。為了實現此目的，本發明提出了一種用于在基板的化學和/或電化學處理的系統中輸送類板狀基板的裝置。該系統尤其用于導電層的無電沉積。本發明包括用于類板狀基板的傳送裝置的旋轉的輸送元件，其是化學和/或電化學處理裝置的一部分。傳送優選地以限定的傳送方向發生，由此許多相似的旋轉的輸送元件共同形成用于類板狀基板的支承件，這些類板狀基板被輸送越過旋轉的輸送元件。根據本發明，旋轉的輸送元件或多個旋轉的輸送元件至少部分地由無機玻璃構成。

根據本發明的裝置的一個優選實施例，輸送元件具有至少一個軸承元件以及至少一個輸送器件，所述軸承元件用于輸送元件的旋轉承載，所述輸送器件顯示出對被輸送的類板狀基底的至少一個二維或類線狀的接觸區域。輸送器件以及軸承元件可至少部分地由無機玻璃形成。輸送元件可示出輪軸或軸，所述輪軸或軸至少部分地包括無機玻璃并且/或者至少部分地由無機玻璃制成且至少部分地形成軸承元件。該輪軸或軸可至少部分地由玻璃棒或玻璃管形成。如果使用玻璃管，兩個前端優選地被封閉。

此外，輸送元件的輸送部分可通過用于類板狀基板的至少一個旋轉對稱的支承元件形成。輸送元件可以例如示出用于基板的旋轉對稱的支承元件。另一個有用的變型可以具有輸送部分，該輸送部分包括采用軸或管形狀的旋轉對稱的中間部分，其顯示出在軸或管的前部處用于軸承元件的軸端或軸承元件的接收器件。軸的直徑可分級，例如，中間部分可略微成錐形，由此直徑相比于相鄰軸端的側向外緣或具有較小直徑的軸承元件減小大約0.05?mm至1mm、尤其是0.1?mm至0.3mm。這確保了類板狀基板僅在它們的外緣處被輸送，同時基板的最大表面區域被布置在中間收縮區段或錐形區段的上方并且大部分被自由接觸輸送。這樣的軸使得具有至少兩個導電板的所謂整個電路板的自由接觸輸送成為可能，它們被用作用于導電板的基礎材料。僅邊緣區域通過輸送元件進行接觸，這些邊緣區域稍后被去除。