[發明專利]用于在化學和/或電化學處理系統中輸送類板狀基板的裝置

有效

• 申請號: 201180007222.0
• 申請日: 2011-01-24
• 公開（公告）號: CN102844470A
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發明（設計）人: M.克雷奇;H.孔策;A.盧奇
• 申請（專利權）人: 安美特德國有限公司
• 主分類號: C25D7/06
• 分類號: C25D7/06;C23C18/16;B65G49/06
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張昱;楊炯

1.一種用于在系統(8)中輸送類板狀基板(10)的裝置，所述系統(8)用于所述基板的化學和/或電化學處理、尤其用于導電層的無電沉積，所述裝置包括至少一個旋轉的輸送元件(14)，所述輸送元件(14)至少部分地由無機玻璃構成，由此所述輸送元件(14)的輸送部分(20)由用于所述類板狀基板(10)的至少一個旋轉對稱的支承元件(34，44)形成，并且由此所述旋轉對稱的支承元件(34，44)被安裝到或收縮到所述輸送元件(14)上。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述輸送元件(14)具有至少一個軸承元件(22)以及至少一個輸送器件(20)，所述軸承元件(22)用于所述輸送元件(14)的旋轉承載且至少部分地由無機玻璃制成，所述輸送器件(20)顯示出用于所述類板狀基板(10)的至少一個二維或類線狀的接觸區域。

3.根據權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述輸送元件(14)具有軸線、軸端(24)或軸(42)，所述軸線、所述軸端(24)或所述軸(42)包括無機玻璃并且/或者至少部分地由無機玻璃制成且至少部分地形成所述軸承部分(22)。

4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述軸線、所述軸端(24)或所述軸(42)至少部分地由玻璃棒或玻璃管(30)形成，所述玻璃棒或玻璃管(30)具有至少在一端處封閉的前部(32)。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述輸送部分(20)包括采用軸(36)或管形狀的輸送元件(14)的旋轉對稱的中間部分，所述中間部分顯示出在兩個前部(28)處用于所述軸承元件(22)的軸端(24)或者所述軸承元件(22)的接收器件。

6.根據權利要求1或5所述的裝置，其特征在于，所述中間部分的直徑或所述輸送部分(20)的直徑大于所述軸承元件(22)的軸端(24)的直徑或者所述軸承元件(22)的直徑。

7.根據權利要求5至6中任一項所述的裝置，其特征在于，所述軸端(24)、和/或至少所述中間部分的表面或所述輸送部分(20)由無機玻璃制成。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的裝置，其特征在于，兩個相鄰的支承元件(44)的側向邊界之間的距離具有小于大約300mm的值。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的裝置，其特征在于，所述支承元件(34，44)彼此不相接觸，并且由此所述支承元件(34，44)形成為小的輪和/或盤和/或圓柱體。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的裝置，其特征在于，在與介質相接觸位置處的所述玻璃的表面粗糙度具有小于1μm的值。

11.根據權利要求1至10中任一項所述的裝置，其特征在于，所述至少一個輸送元件(14)被提供動力，尤其是通過布置在所述軸端(24)中至少一個上的旋轉的傳送部件或驅動輪(50)被提供動力。

12.根據權利要求1至11中任一項所述的裝置，其特征在于，所述至少一個輸送元件(14)被布置成能在軸承座(26)中旋轉，由此所述軸承座(26)具有對通道的流體控制的連接。

13.一種傳送裝置，其包括根據權利要求1至12中任一項所述被成對地布置在彼此頂部上的多個旋轉的輸送元件(14)，其特征在于，所述類板狀基板(10)在所述輸送元件(14)之間是能移動的。

14.一種用于處理基板的方法，其特征在于，所述基板通過根據權利要求1至12所述裝置、或者通過根據權利要求13所述傳送裝置進行輸送。