[發明專利]OCT裝置

有效

• 申請號: 201180007116.2
• 申請日: 2011-01-19
• 公開（公告）號: CN102725623A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發明（設計）人: 宮崎康人;米田康人;鈴木久則;村松雅治;渥美利久
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01N21/17
• 分類號: G01N21/17
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

技術領域

本發明涉及OCT裝置。

背景技術

OCT（Optical?Coherence?Tomography光學相干斷層掃描）裝置是一種使用了低相干光的干涉儀。OCT裝置能夠在光的行進方向以相干長度左右的位置分辨能力將特定的位置上被反射或者散射的光的強度分布作為斷層圖像并進行檢測。OCT裝置例如可以被用于診斷眼球和牙齒等。在專利文獻1中記載有將OCT裝置應用于眼科診斷的技術。在專利文獻1所記載的OCT裝置中，在輸出近紅外區域波長的光的光源被使用，并且，作為檢測近紅外區域波長的光的光檢測器而可以使用CCD（Charge?Coupled?Device：電荷耦合器件）攝像元件。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利申請公開2009-034480號公報

發明內容

發明所要解決的技術問題

關于CCD攝像元件一般是使用廉價而且容易制造的硅基板。然而，使用了硅基板的CCD攝像元件在900nm以上的波長區域其靈敏度會急劇劣化。雖然通過對硅基板實施薄化處理，從而就能夠維持在1000nm附近的靈敏度，但是可能會產生標準具（etalon）現象。標準具現象是一種在入射的被檢測光與已入射的被檢測光在相對于入射面的面上進行反射的光之間發生干涉的現象。為此，標注具現象會影響到在近紅外波長區域中的檢測特性。

本發明其目的在于提供一種OCT裝置，其具備使用硅基板、并且在近紅外波長區域具有充分靈敏度特性的光檢測器。

解決技術問題的手段

本發明所涉及的OCT裝置具備：輸出光的光源；分支部，對從光源輸出的光進行分支從而輸出第1分支光以及第2分支光；探針部，將從分支部輸出的第1分支光照射于被測定對象物并且輸入來自被測定對象物的光從而進行引導；合波部，將被探針部引導而到達的光作為試樣光輸入并且將從分支部輸出而到達的第2分支光作為參照光輸入，對這些輸入的參照光和試樣光進行合波，從而輸出由該合波而產生的干涉光；光檢測器，檢測從合波部輸出的干涉光的強度；光檢測器具有：由第1導電類型（first?conductivity-type）的半導體構成、并具有互相相對的第1主面以及第2主面并且在第1主面側形成第2導電類型的半導體區域的硅基板；被設置于硅基板的第1主面上并且傳送所產生的電荷的傳送電極部；在硅基板上，既在第2主面側形成具有比硅基板高的雜質濃度的第1導電類型的積累層（accumulation?layer），又在第2主面上的至少與第2導電類型（second?conductivity-type）的半導體區域相對的區域形成不規則的凹凸，并且在硅基板的第2主面上的形成有不規則的凹凸的區域進行光學性地露出。

在本發明所涉及的OCT裝置中，在具有光檢測器的硅基板上，不規則的凹凸被形成于第2主面上的至少與第2導電類型的半導體區域相對的區域。為此，入射到光檢測器的干涉光在該區域被反射、散射或者擴散，并在硅基板內進行長距離行進。由此，入射到光檢測器的干涉光其大部分不是透過光檢測器（硅基板）而是被硅基板所吸收。因此，在上述光檢測器中，入射到光檢測器的干涉光的行進距離變長，并且干涉光被吸收的距離也變長。其結果則提高了在近紅外波長區域中的靈敏度特性。

在硅基板的第2主面側形成具有比硅基板高的雜質濃度的第1導電類型的積累層。為此，在第2主面側并非由光產生的不用載流子被再結合，從而能夠減少暗電流。第1導電類型的上述積累層抑制了在硅基板的第2主面附近由干涉光而產生的載流子被該第2主面捕獲。為此，由干涉光而產生的載波能夠高效率地向第2導電類型的半導體區域和硅基板的pn接合部移動，并提高了光檢測器的光檢測靈敏度。

在本發明所涉及的OCT裝置中，對于硅基板也可以將對應于第2導電類型的半導體區域的部分從第2主面側起被薄化，并保留該部分的周邊部分。在此情況下，就能夠獲得將硅基板的第1主面以及第2主面側分別作為光入射面的半導體光檢測元件。

在本發明所涉及的OCT裝置中，第1導電類型的積累層的厚度也可以為大于不規則的凹凸的高低差。在此情況下，如以上所述能夠確保由積累層所起到的作用效果。

在本發明所涉及的OCT裝置中，硅基板其厚度可以被設定在像素間距以下。在此情況下，就能夠抑制在像素之間發生串擾。

發明效果

根據本發明就能夠提供一種OCT裝置，其具備使用硅基板并且在近紅外的波長區域具有充分靈敏度特性的光檢測器。

附圖說明

圖1是表示OCT裝置的概略構成圖。

圖2是表示光檢測器的立體圖。