[發明專利]自動探針結構站及其方法

有效

• 申請號: 201180005502.8
• 申請日: 2011-01-07
• 公開（公告）號: CN102753979A
• 公開（公告）日: 2012-10-24
• 發明（設計）人: K·恩古耶;K·甘加基德加;D·鮑德溫;N·萊特;S·奧馳;汪言;A·埃爾沙欣;H·特蘭;T·H·貝利;K·吉特德拉;A·凱布爾;D·斯邁利;T·E·威沙德
• 申請（專利權）人: 烽騰科技有限公司
• 主分類號: G01R1/02
• 分類號: G01R1/02
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸勍

相關申請案：

本申請案主張于2010年1月8日提出申請的美國臨時專利申請案第61/293,610號的優先權，該美國臨時專利申請案的內容以引用方式全文并入本文中。

技術領域

本發明概言之關于大規模電子裝置的電性檢驗領域，具體而言，關于液晶(Liquid?Crystal；LC)顯示器及有機發光二極管(Organic?Light?Emitting?Diode；OLED)顯示器的檢驗、以及在此種檢驗中所用的光學系統及電子系統。

背景技術

液晶顯示(liquid?crystal?display；LCD)面板包含液晶，液晶表現出與電場相關的光調變特性。液晶顯示面板最常用于在自傳真機(fax?machine)、膝上型電腦螢幕(laptop?computer?screen)一直到大型螢幕、高清晰度電視機(TV)的各種裝置中顯示影像及其他信息。主動矩陣(active?matrix)式LCD面板為復雜的多層式結構，其由以下多個功能層組成：一偏光膜(polarizing?film)；一TFT玻璃基板，包含薄膜晶體管、儲存電容器(storage?capacitor)、像素電極(pixel?electrode)以及互連線路(interconnect?wiring)；一彩色濾光片玻璃基板(color?filter?glass?substrate)，包含一黑色矩陣(black?matrix)以及一彩色濾光片陣列(color?filter?array)以及一透明共用電極；一定向膜(orientation?film)，由聚酰亞胺(polyimide)制成；以及實際液晶材料，包含數個塑膠/玻璃間隔件(spacer)，以用于維持恰當的LCD單元厚度。

LCD面板于一潔凈室(clean?room)環境中在受到高度控制的條件下進行制造，以使良率(yield)最大化。然而，許多LCD會因存在制造瑕疵(flaw)而必須被丟棄。

如上所述，為提升諸如LCD面板等復雜電子裝置的生產良率，執行各種檢驗步驟，以辨識在制造工藝的各個階段中所可能出現的各種缺陷。上述檢驗步驟可在各制造階段之間執行，或在整個制造工藝完成后執行。上述檢驗工藝的一實例為測試LC顯示器或OLED顯示器中所用的TFT陣列是否存在電性缺陷。利用各種檢驗裝置執行上述測試。可用于此種目的的實例性裝置包括可自位于San?Jose，California，USA的Orbotech有限公司購得的Array?Checker?AC5080。另一選擇為，可利用熟習此項技術者所已知并可商購獲得的電子束檢驗系統(electron-beam?inspection?system)來執行TFT陣列測試。

電性檢驗系統一般需要以有利于達成缺陷偵測的電性信號或模式(pattern)來驅動受試裝置(device?under?test；DUT)。該等信號經由一帶有探針插腳(probe?pin)的結構而自一模式產生器子系統傳送至受試裝置，該等探針插腳與位于受試裝置的有效區域的周邊處的接觸焊墊進行實體接觸。在對TFT陣列進行電性檢驗的情形中，常常在用于陣列測試的接觸焊墊與面板驅動線之間設置一或多個短接棒(與陣列建置于同一基板上)。此等短接棒連接至一驅動線子集(例如，可于每隔一條柵極線上連接一個短接棒)，藉此減少所需的觸點數目，進而簡化探測總成。

不同的裝置一般將具有不同的測試焊墊布局。測試焊墊布局可取決于受試裝置的尺寸、同一基板上所欲測試的相鄰裝置間的距離、受試裝置在基板上的取向以及其他因素。若欲在同一電性檢驗系統上測試不同的裝置，則必須修改探測結構以符合受試裝置的配置。目前，使用一程序來達成探測結構的此種重新配置，該程序涉及使用大量人力。舉例而言，在利用經人工配置的探測結構的電性檢驗系統中，當欲測試一不同電路布局時，需要一機器操作員安裝、校準及配置一新探測結構。該過程需要測試機器停機較長的一段時間，導致機器利用率降低。對于需要一工藝控制室(process?control?chamber)的工藝，將需要操作員進入該室以執行重新配置，而此會在使工藝控制室重新達到工藝條件時，進一步造成機器停機時間并可能使操作員暴露于安全危險之中。

倘若欲測試一新面板布局，則必須開發一客制的探測結構，而此會給客戶造成額外的成本。此外，探測結構在不使用時儲存于機器之外，此需要額外的地面儲存空間。

發明內容

本發明關于能實質上消除與用于達成大規模電子器件的檢驗的已知技術相關的一或多個上述問題及其他問題的方法及系統。