[實用新型]超聲硅片清洗機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120573330.1
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN202427679U
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發(fā)明（設計）人: 鐘平
• 申請（專利權）人: 寧波科論太陽能有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12
• 代理公司: 杭州金源通匯專利事務所(普通合伙) 33236
• 代理人: 唐迅

1.一種超聲硅片清洗機，它包括超聲槽(1)，其特征是在超聲槽(1)的一側設有排水閥門(2)，超聲槽(1)的槽口處搭接有用于放置硅片的支架(3)，超聲槽(1)的底部設有超聲波振子(4)；超聲槽(1)上還設有循環(huán)水管路(5)，循環(huán)水管路(5)上通過過濾裝置(51)和抽水泵(52)連有噴頭(6)。

2.根據(jù)權利要求1所述的超聲硅片清洗機，其特征是在支架(3)上通過連桿(31)連有收集網(wǎng)(7)。