[實用新型]超聲硅片清洗機

有效

• 申請號: 201120573330.1
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN202427679U
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發明（設計）人: 鐘平
• 申請（專利權）人: 寧波科論太陽能有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12
• 代理公司: 杭州金源通匯專利事務所(普通合伙) 33236
• 代理人: 唐迅

技術領域

本實用新型涉及一種硅片清洗機，特別是超聲硅片清洗機。

背景技術

硅片在生產時會伴隨有大量的殘留物和金屬雜質，在清洗時相當麻煩，而且清洗效果不好。專利申請號為ZL200720192576.8中公開了一種超聲波清洗單晶硅片裝置，包括清洗槽，清洗槽的槽壁上設有進水口和出水口，槽底部下方設有超聲波振子，其特征是：清洗槽槽內設有一擱置單晶硅片的框架，框架底壁為柵欄狀石英棒，石英棒形成的平面低于離子水水平面，整個框架由支撐腳支撐在清洗槽呢。這種結構的清洗裝置，結構復雜，清洗時浪費了大量水資源。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決上述現有技術的不足而提供一種結構簡單，操作方便，清洗效果好且能夠節約水資源的超聲硅片清洗機。

為了實現上述目的，本實用新型所設計的超聲硅片清洗機，它包括超聲槽，其特征是在超聲槽的一側設有排水閥門，超聲槽的槽口處搭接有用于放置硅片的支架，超聲槽的底部設有超聲波振子；超聲槽上還設有循環水管路，循環水管路上通過過濾裝置和抽水泵連有噴頭。

在支架上通過連桿連有收集網，用于收集清洗時可能脫落的硅片。

本實用新型得到的超聲硅片清洗機，結構簡單，操作方便，采用超聲清洗，使清洗硅片的效果更好，且能夠節約水資源。

附圖說明

圖1是實施例整體結構示意圖。

圖中：超聲槽1、排水閥門2、支架3、連桿31、超聲波振子4、循環水管路5、、過濾裝置51、抽水泵52、噴頭6、收集網7、注水閥門8。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

實施例：

如圖1所示，本實施例提供的超聲硅片清洗機，它包括超聲槽1，在超聲槽1的一側設有排水閥門2，超聲槽1的槽口處搭接有用于放置硅片的支架3，在支架3上通過連桿31連有收集網7，超聲槽1的底部設有超聲波振子4；超聲槽1上還設有循環水管路5，循環水管路5上通過過濾裝置51和抽水泵52連有噴頭6。當超聲槽1的水位不足時，開啟超聲槽1上方的注水閥門8，水位過高時，開啟排水閥門2。當超聲槽1內的水逐漸清澈時，開啟抽水泵52，使清水經過過濾裝置51后通過噴頭6噴出，噴頭6由人工操作控制水流方向和位置，將清水重新打入超聲槽1內，達到循環清洗的作用。通過超聲波振子4發生的超聲波將硅片上的殘留物和金屬雜質清洗。