[實(shí)用新型]靜電吸附盤安裝工具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120571423.0
• 申請(qǐng)日: 2011-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN202373568U
• 公開（公告）日: 2012-08-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 辛笛;李文;張緒彪;袁成寶
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種安裝工具。

背景技術(shù)

目前，半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)的很多工藝腔內(nèi)使用靜電吸附盤吸附晶圓。圖1所示是蝕刻腔室的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖，在腔體110內(nèi)部，靜電吸附盤120周圈通過若干螺釘鎖固在下方的底座130上，所述靜電吸附盤120上設(shè)有若干與所述螺釘相匹配的螺釘孔。

當(dāng)使用一段時(shí)間后，維護(hù)人員需要對(duì)靜電吸附盤120進(jìn)行檢修和更換。在更換過程中，容易產(chǎn)生如下問題：

一方面，在用螺絲刀松開螺釘或者擰緊螺釘?shù)臅r(shí)候，容易出現(xiàn)靜電吸附盤120的表面被螺絲刀刮傷，導(dǎo)致靜電吸附盤120的表面平整度降低，以致降低了對(duì)晶圓的吸附力，影響產(chǎn)品制程。

另一方面，由于靜電吸附盤120的周圈采用很多螺釘緊固，且由于維護(hù)人員是手工操作，受人為因素的影響比較大。然而，螺釘?shù)木o固順序有講究的，不能夠挨個(gè)緊固，否則，容易出現(xiàn)靜電吸附盤120受力不均勻的現(xiàn)象，致使靜電吸附盤120安裝不到位。

因此，如何提供可以有效保護(hù)靜電吸附盤表面的靜電吸附盤安裝工具是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種靜電吸附盤安裝工具，可以有效保護(hù)靜電吸附盤的表面。

為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種靜電吸附盤安裝工具，所述靜電吸附盤通過若干螺釘安裝于底座上，所述靜電吸附盤上設(shè)有若干與所述螺釘相匹配的螺釘孔，所述靜電吸附盤安裝工具包括一圓盤狀本體，所述圓盤狀本體的直徑大于或者等于所述靜電吸附盤的直徑，所述圓盤狀本體對(duì)應(yīng)所述靜電吸附盤上的螺釘孔設(shè)有相應(yīng)的通孔，所述通孔的直徑大于相應(yīng)螺釘?shù)穆菝钡耐鈴健?/p>

在上述的靜電吸附盤安裝工具中，所述通孔包括若干第一通孔和若干第二通孔，所述第一通孔的直徑大于所述第二通孔的直徑，相鄰第一通孔之間設(shè)有一個(gè)或多個(gè)第二通孔。

在上述的靜電吸附盤安裝工具中，第一通孔的數(shù)量是四個(gè)。

在上述的靜電吸附盤安裝工具中，第二通孔的數(shù)量是八個(gè)。

在上述的靜電吸附盤安裝工具中，所述圓盤狀本體的一個(gè)表面上設(shè)有螺釘順序標(biāo)識(shí)。

本實(shí)用新型提供的靜電吸附盤安裝工具，包括一圓盤狀本體，所述圓盤狀本體的直徑大于或者等于所述靜電吸附盤的直徑，所述圓盤狀本體對(duì)應(yīng)所述靜電吸附盤上的螺釘孔設(shè)有相應(yīng)的通孔，所述通孔的直徑大于相應(yīng)螺釘?shù)穆菝钡耐鈴剑虼?，在拆裝靜電吸附盤時(shí)，可以先將該圓盤狀本體蓋在所述靜電吸附盤上，并使得該圓盤狀本體的通孔對(duì)準(zhǔn)所述靜電吸附盤上的相應(yīng)螺釘孔，然后，用螺絲刀松開或者擰緊靜電吸附盤上的螺釘，在用螺絲刀松開或者擰緊靜電吸附盤上的螺釘?shù)倪^程中，圓盤狀本體蓋始終阻隔螺絲刀碰觸靜電吸附盤，從而在靜電吸附盤的更換過程中起到保護(hù)靜電吸附盤的作用。

另外，通過在所述圓盤狀本體的一個(gè)表面上設(shè)有螺釘順序標(biāo)識(shí)，通過螺釘順序標(biāo)識(shí)可以指示維護(hù)人員按照正確的順序擰緊螺釘，使得靜電吸附盤的各處受力均勻，安裝到位，從而有效提高了靜電吸附盤的穩(wěn)定性。

附圖說明

本實(shí)用新型的靜電吸附盤安裝工具由以下的實(shí)施例及附圖給出。

圖1為現(xiàn)有的蝕刻腔室的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例的靜電吸附盤安裝工具的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中，110-腔體、120-靜電吸附盤、130-底座、210-圓盤狀本體、220-第一通孔、230-第二通孔。

具體實(shí)施方式

以下將對(duì)本實(shí)用新型的靜電吸附盤安裝工具作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。

為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。

為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。