[實用新型]靜電吸附盤安裝工具

有效

• 申請號: 201120571423.0
• 申請日: 2011-12-30
• 公開（公告）號: CN202373568U
• 公開（公告）日: 2012-08-08
• 發明（設計）人: 辛笛;李文;張緒彪;袁成寶
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種靜電吸附盤安裝工具，所述靜電吸附盤通過若干螺釘安裝于底座上，所述靜電吸附盤上設有若干與所述螺釘相匹配的螺釘孔，其特征在于，所述靜電吸附盤安裝工具包括一圓盤狀本體，所述圓盤狀本體的直徑大于或者等于所述靜電吸附盤的直徑，所述圓盤狀本體對應所述靜電吸附盤上的螺釘孔設有相應的通孔，所述通孔的直徑大于相應螺釘的螺帽的外徑。

2.根據權利要求1所述的靜電吸附盤安裝工具，其特征在于，所述通孔包括若干第一通孔和若干第二通孔，所述第一通孔的直徑大于所述第二通孔的直徑，相鄰第一通孔之間設有一個或多個第二通孔。

3.根據權利要求2所述的靜電吸附盤安裝工具，其特征在于，所述第一通孔的數量是四個。

4.根據權利要求2所述的靜電吸附盤安裝工具，其特征在于，所述第二通孔的數量是八個。

5.根據權利要求1～4中任意一項所述的靜電吸附盤安裝工具，其特征在于，所述圓盤狀本體的一個表面上設有螺釘順序標識。