[實用新型]用于化學機械研磨的固定環(huán)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120545807.5 | 申請日： | 2011-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN202367586U | 公開（公告）日： | 2012-08-08 |
| 發(fā)明（設計）人： | 黃孝鵬;張巧峰 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/27 | 分類號： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 化學 機械 研磨 固定 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于化學機械研磨的固定環(huán)，適于固定一晶片，其特征在于，所述固定環(huán)包括：一環(huán)形本體，其內(nèi)部開設有一環(huán)形通道；至少一個第一孔，分布在環(huán)形本體的外壁上，且與環(huán)形通道連通；多個第二孔，均勻分布在環(huán)形本體的內(nèi)壁上，且與環(huán)形通道連通。
2.如權利要求1所述的用于化學機械研磨的固定環(huán)，其特征在于，所述第一孔的位置與所述第二孔的位置錯開。
3.如權利要求2所述的用于化學機械研磨的固定環(huán)，其特征在于，所述第一孔的位置與兩個相鄰的第二孔中間的位置相對應。
4.如權利要求1所述的用于化學機械研磨的固定環(huán)，其特征在于，所述第二孔的個數(shù)至少為4個。
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