[實用新型]寶石爐真空系統

有效

• 申請號: 201120534161.0
• 申請日: 2011-12-20
• 公開（公告）號: CN202430336U
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發明（設計）人: 陳衛國;周磊;沈春艷;李瑞蓮;于愛東
• 申請（專利權）人: 山東紫晶光電新材料有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B35/00;C30B15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于物質生長爐技術領域，具體涉及一種寶石爐真空系統。

背景技術

LED用藍寶石晶體材料化學式為α-Al₂O₃，屬六方晶體，在室溫下密度為3.98g/cm³，屬于熔點很高的難熔氧化物晶體。Al₂O₃晶體具有寬的透光范圍，從真空紫外、可見光、遠紅外，一直到中紅外均具有較高的光透過性，具有高機械強度，高溫耐熔性，膨脹系數小，導熱率大，良好的化學穩定性，耐輻射性及低摩擦系數等綜合性能，是優良的激光基質材料及各種光學元件和紅外軍事裝置、衛星空間技術、高強度激光的窗口材料，在微電子學、光學、量子電子學、計算機、照明設施、發光二極管以及其他科學技術領域得到廣泛應用。

制備LED用藍寶石晶體有多種方法，微拉旋轉泡生法因其能綜合泡生法和微拉法的優點，因此優先在工業上應用。該方法是晶體在寶石爐(單晶爐)內完成晶體長晶制備過程。本實用新型是寶石爐的組件之一，它主要是將爐內工作室抽到高真空狀態。

發明內容

本實用新型提供一種寶石爐真空系統，其操作方便，結構緊湊，占用空間小，便于安裝、維修。

本實用新型采用的具體技術方案是：

一種寶石爐真空系統，包括真空泵，其特征是，真空泵依次連接第二連接管、第一電磁閥、第一連接管和連接彎頭，連接彎頭一端與寶石爐連接，連接彎頭另一端連接擴散泵；連接彎頭和擴散泵之間設置電動閘板閥，擴散泵上還設有第三連接管通過第二電磁閥與第二連接管連接。

連接彎頭上還設有真空表。

本實用新型的優點是：操作方便，結構緊湊，占用空間小，便于安裝、維修。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖中，1-第一電磁閥，2-第一連接管，3-連接彎頭，4-真空表，5-電動閘板閥，6-第二電磁閥，7-第二連接管，8-真空泵，9-第三連接管，10-擴散泵。

具體實施方式

如圖1所示，一種寶石爐真空系統，包括真空泵8，真空泵8依次連接第二連接管7、第一電磁閥1、第一連接管2和連接彎頭3，連接彎頭3一端與寶石爐連接，連接彎頭3另一端連接擴散泵10；連接彎頭3和擴散泵10之間設置電動閘板閥5，擴散泵10上還設有第三連接管9通過第二電磁閥6與第二連接管7連接。連接彎頭3上還設有真空表4。

本實用新型在使用時，首先將第二電磁閥6和電動閘板閥5關閉，開啟真空泵8，通過連接彎頭3和第一連接管2、第二連接管7，將寶石爐內抽到低真空狀態，達到設定數值后，再將第一電磁閥1關閉，開啟第二電磁閥6和電動閘板閥5，啟動擴散泵10，經過連接彎頭3、電動閘板閥5、第二連接管7、真空泵8將寶石爐內抽到高真空狀態，達到工藝要求。