[實用新型]寶石爐真空系統有效
| 申請號： | 201120534161.0 | 申請日： | 2011-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN202430336U | 公開（公告）日： | 2012-09-12 |
| 發明（設計）人： | 陳衛國;周磊;沈春艷;李瑞蓮;于愛東 | 申請（專利權）人： | 山東紫晶光電新材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/20 | 分類號： | C30B29/20;C30B35/00;C30B15/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 255086 山東省淄博市高新區北辛路*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 寶石 真空 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種寶石爐真空系統，包括真空泵，其特征是，真空泵依次連接第二連接管、第一電磁閥、第一連接管和連接彎頭，連接彎頭一端與寶石爐連接，連接彎頭另一端連接擴散泵；連接彎頭和擴散泵之間設置電動閘板閥，擴散泵上還設有第三連接管通過第二電磁閥與第二連接管連接。
2.根據權利要求1所述的寶石爐真空系統，其特征是，連接彎頭上還設有真空表。
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