[實用新型]1米立式接觸式干涉儀

有效

• 申請號: 201120496992.3
• 申請日: 2011-12-02
• 公開（公告）號: CN202522192U
• 公開（公告）日: 2012-11-07
• 發明（設計）人: 朱敬華;任和漢
• 申請（專利權）人: 西安航天計量測試研究所
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 張倩

技術領域

本實用新型涉及光學測量儀器，尤其涉及一種1米立式接觸式干涉儀。?

背景技術

在(100～1000)mm大量塊修理中，測量手段是直接影響量塊確定等級和使用效率的關鍵測量設備。按國標要求，測量大量塊應使用1米測長機進行測量。由于測長機價值昂貴，目前一般的科研生產單位無法滿足。由于量塊修理市場需求量大。因此量塊修理中的測量方法，是目前急需解決的關鍵性問題。在日常精密測量工作中經常遇到大尺寸、高精度零件的測量，由于零件形狀特殊，測長機上無法安裝。因此大尺寸特殊形狀的零件測量，同樣缺乏相應的測量手段。?

發明內容

為了解決對于現有的大量塊采用一般測量儀器無法測量，而測長機又非常昂貴的技術問題，本實用新型提供一種1米立式接觸式干涉儀，解決了量塊修理中的測量方法的缺失和大尺寸、高精度特殊形狀的零件無法測量的尷尬。?

本實用新型的技術解決方案：?

1米立式接觸式干涉儀，其特殊之處在于：包括基座、光學系統、探頭組件、工作臺以及調節組件，所述探頭組件包括探頭支架以及固定在探頭支架上的探頭，所述光學系統與探頭支架固定連接，所述探頭正對工作臺安裝，所述調節組件包括雙立柱、絲杠、設置在雙立柱上的滑塊、設置在絲杠一端的旋轉手柄以及設置在滑塊上的鎖緊螺釘，所述旋轉手柄驅動絲杠帶動滑塊沿雙立柱運動，所述探頭支架與滑塊固定連接。?

上述調節組件還包括精調螺母3和細調鎖緊螺釘2，所述精調螺母設置在探頭和探頭支架之間，所述細調鎖緊螺釘設置在探頭支架上。?

上述光學系統包括沿光學傳播方向依次設置的光源1、聚光鏡2、濾光片3以及分光鏡4，分光鏡4將入射光分成兩路分別投射在互相垂直的第一反光鏡6和第二反光鏡7上，第一反光鏡6和分光鏡4之間設置有補償鏡5，沿第一反光?鏡6的光路依次設置有測量桿以及被測件，沿第二反光鏡7的光路依次設置有物鏡8、分劃板9以及目鏡10。?

上述工作臺下方設置有三個用于調節工作臺的工作面以及探頭測量軸線的垂直度的旋轉螺母。?

上述基座底部設置有彈性橡膠。?

本實用新型所具有的優點：?

1、1米立式接觸式干涉儀具有接觸式干涉儀的測量精度。擴大了測量范圍至1000mm。通過設計儀器工作臺的形狀和精度，消除了該儀器“探頭”對“工作臺”的“點”對“面”的測量與測長機“探頭”對“探頭”的“點”對“點”的不同的測量方式，保證了該儀器具有大范圍高精度測量的技術特點。?

2、由于該儀器的測量精度為萬分之一，振動會造成儀器無法讀取測量數據的情況。本實用新型采用了特殊的減震方法，可以有效的避免振動對儀器測量的影響。?

3、測量范圍可達到1000mm高度尺寸范圍的任意尺寸的測量。克服了大范圍、高精度測量的技術難題。?

4、工作臺設計為可調工作臺，調整范圍2mm，可方便地調整探頭軸線與工作臺的垂直性。?

5、本實用新型1米接觸式干涉儀具有原理、結構簡單，精度高，使用方便等特點。?

附圖說明

圖1為本實用新型的1米立式接觸式干涉儀的結構示意圖；?

圖2為本實用新型光學系統示意圖；?

其中附圖標記為：1-光源，2-聚光鏡，3-濾光片3，4-分光鏡，5-補償鏡，6-第一反光鏡，7-第二反光鏡，8-物鏡，9-分劃板，10-目鏡，11-軸，12-測量桿，13-測帽，14被測件，21-光學系統，22-細調鎖緊螺釘，23-精調螺母，231-探頭，232-探頭支架，24-工作臺，25-旋轉手柄，26-鎖緊螺釘，27-雙立柱，28-減震底座，29-絲杠，210-滑塊。?

具體實施方式

1米立式接觸式干涉儀，包括光學系統21、探頭組件、工作臺24以及調節?組件，探頭組件包括探頭支架232以及固定在探頭支架232上的探頭231，光學系統21與探頭支架232固定連接，探頭231正對工作臺24安裝，調節組件包括雙立柱27、絲杠29、設置在雙立柱27上的滑塊、設置在絲杠一端的旋轉手柄以及設置在滑塊210上的鎖緊螺釘26，旋轉手柄25驅動絲杠帶動滑塊沿雙立柱運動，探頭支架與滑塊固定連接。?

調節組件還包括精調螺母23和細調鎖緊螺釘22，精調螺母設置在探頭和探頭支架之間，細調鎖緊螺釘設置在探頭支架上。工作臺下方設置有三個旋轉螺母。?

工作臺下方設置有減震基座，基座使用穩固的結構并加以配重，底角支撐部分使用彈性適當的橡膠，以減小振動對儀器測量時讀數的影響，以保證測量數據的可靠性。?