[實(shí)用新型]水氣分離裝置及排放裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120480576.4
• 申請(qǐng)日: 2011-11-25
• 公開（公告）號(hào): CN202315559U
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉鐵柱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號(hào): B01D45/08
• 分類號(hào): B01D45/08
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種水氣分離裝置及排放裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體車間，因工藝要求安裝有大量的排放裝置，以抽走機(jī)臺(tái)生產(chǎn)過程產(chǎn)生的廢氣，保證工作環(huán)境的安全和潔凈。

具體請(qǐng)參閱圖1，現(xiàn)有的排放裝置，包括“T”型管路110、排風(fēng)管路120和排水管路130，所述“T”型管路110具有水平端111、上端112和下端113，所述“T”型管路110的水平端111接機(jī)臺(tái)的排風(fēng)口(圖1中未示意)，所述“T”型管路110的上端112接所述排風(fēng)管路120，所述“T”型管路110的下端113接所述排水管路130。

部分工藝機(jī)臺(tái)例如研磨機(jī)臺(tái)和酸槽，排氣中含有大量腐蝕性液態(tài)和水氣混合物。由于現(xiàn)有的排放裝置直接通過“T”型管路110連接排水管路130與排風(fēng)管路120，因此不能對(duì)機(jī)臺(tái)的排風(fēng)口出來的廢氣進(jìn)行有效的水氣分離，使得大量腐蝕性液態(tài)和水氣混合物被吸入排風(fēng)管路120中，加快了排風(fēng)管路120的腐蝕。

據(jù)統(tǒng)計(jì)，大約運(yùn)行五年，便陸續(xù)出現(xiàn)排風(fēng)管路120被腐蝕出現(xiàn)孔洞現(xiàn)象。現(xiàn)在的處理方法：對(duì)輕微的進(jìn)行補(bǔ)漏，對(duì)嚴(yán)重的更換新的排風(fēng)管路120。因而，給公司穩(wěn)定生產(chǎn)帶來影響，更花去了大量費(fèi)用，且不可持續(xù)發(fā)展。

因此，如何提供一種可以實(shí)現(xiàn)有效分離水氣的水氣分離裝置及排放裝置是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種水氣分離裝置及排放裝置，可以實(shí)現(xiàn)有效的水氣分離，防止排風(fēng)管路受到腐蝕性的液態(tài)和水氣混合物侵蝕。

為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種水氣分離裝置，包括上管段、下管段、集液網(wǎng)和內(nèi)錐體，所述上管段的下端和所述下管段的下端相連接，所述上管段和所述下管段的連接端均設(shè)置成喇叭形開口，所述集液網(wǎng)安裝于所述上管段和所述下管段之間，所述內(nèi)錐體的錐底安裝于所述集液網(wǎng)上，所述內(nèi)錐體的錐頂向下。

優(yōu)選地，在上述的水氣分離裝置中，所述上管段和所述下管段通過法蘭連接。

優(yōu)選地，在上述的水氣分離裝置中，所述集液網(wǎng)全部采用網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，或者，所述集液網(wǎng)上與所述錐底的接觸面采用面板，其余部分采用網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。

本實(shí)用新型還公開了一種排放裝置，包括“T”型管路、排風(fēng)管路和排水管路，所述“T”型管路包括水平端、上端和下端，所述“T”型管路的水平端接機(jī)臺(tái)的排風(fēng)口，所述“T”型管路的下端接所述排水管路，所述排放裝置還包括如上所述的水氣分離裝置，所述“T”型管路的上端經(jīng)所述水氣分離裝置與所述排風(fēng)管路連接。

優(yōu)選地，在上述的排放裝置中，所述下管段與所述“T”型管路的上端之間設(shè)有第一閥門。

優(yōu)選地，在上述的排放裝置中，所述第一閥門分別通過法蘭與所述下管段和所述“T”型管路的上端連接。

優(yōu)選地，在上述的排放裝置中，所述上管段與所述排風(fēng)管路之間設(shè)有第二閥門。

優(yōu)選地，在上述的排放裝置中，所述第二閥門分別通過法蘭與所述上管段和所述排風(fēng)管路連接。

本實(shí)用新型提供的水氣分離裝置及排放裝置，可以通過內(nèi)錐體和下管段的喇叭形開口改變氣流方向，使得大部分微小的水氣混合物撞擊內(nèi)錐體的外表面與下管段的管壁，凝結(jié)成較大的液體顆粒，小部分微小的水氣混合物撞擊集液網(wǎng)，同樣凝結(jié)成較大的液體顆粒，較大的液體顆粒不能從集液網(wǎng)通過，而是由于重力作用落入下方的排水管路中，從而無需外加吸液填料就可以實(shí)現(xiàn)高效、環(huán)保、便捷的水氣分離，防止排風(fēng)管路受到具有腐蝕性的水氣混合物的侵蝕，不但可以延長(zhǎng)排風(fēng)管路的使用壽命，而且可以避免因維修和更換排風(fēng)管路導(dǎo)致機(jī)臺(tái)停機(jī)。

附圖說明

本實(shí)用新型的水氣分離裝置及排放裝置由以下的實(shí)施例及附圖給出。

圖1是現(xiàn)有的排放裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的水氣分離裝置及排放裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實(shí)用新型一實(shí)施例的集液網(wǎng)和內(nèi)錐體的裝配后的俯視圖。

圖中，110、210-“T”型管路，111、211-水平端，112、212-上端，113、213-下端，120、220-排風(fēng)管路，130、230-排水管路，240-上管段，250-下管段，260-集液網(wǎng)，270-內(nèi)錐體，錐頂-271，280-第一閥門，290-第二閥門，201～205-法蘭。

具體實(shí)施方式

以下將對(duì)本實(shí)用新型的水氣分離裝置及排放裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。