[實用新型]水氣分離裝置及排放裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120480576.4 | 申請日： | 2011-11-25 |
| 公開（公告）號： | CN202315559U | 公開（公告）日： | 2012-07-11 |
| 發(fā)明（設計）人： | 劉鐵柱 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | B01D45/08 | 分類號： | B01D45/08 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 水氣 分離 裝置 排放 | ||
1.一種水氣分離裝置，其特征在于，包括上管段、下管段、集液網(wǎng)和內(nèi)錐體，所述上管段的下端和所述下管段的下端相連接，所述上管段和所述下管段的連接端均設置成喇叭形開口，所述集液網(wǎng)安裝于所述上管段和所述下管段之間，所述內(nèi)錐體的錐底安裝于所述集液網(wǎng)上，所述內(nèi)錐體的錐頂向下。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水氣分離裝置，其特征在于，所述上管段和所述下管段通過法蘭連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水氣分離裝置，其特征在于，所述集液網(wǎng)全部采用網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水氣分離裝置，其特征在于，所述集液網(wǎng)與所述錐底的接觸面采用面板，其余部分采用網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
5.一種排放裝置，包括“T”型管路、排風管路和排水管路，所述“T”型管路包括水平端、上端和下端，所述“T”型管路的水平端接機臺的排風口，所述“T”型管路的下端接所述排水管路，其特征在于，所述排放裝置還包括如權(quán)利要求1～4中任意一項所述的水氣分離裝置，所述“T”型管路的上端經(jīng)所述水氣分離裝置與所述排風管路連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的排放裝置，其特征在于，所述下管段與所述“T”型管路的上端之間設有第一閥門。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的排放裝置，其特征在于，所述第一閥門分別通過法蘭與所述下管段和所述“T”型管路的上端連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的排放裝置，其特征在于，所述上管段與所述排風管路之間設有第二閥門。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的排放裝置，其特征在于，所述第二閥門分別通過法蘭與所述上管段和所述排風管路連接。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于中芯國際集成電路制造（上海）有限公司，未經(jīng)中芯國際集成電路制造（上海）有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201120480576.4/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
