[實(shí)用新型]連續(xù)式真空鍍膜設(shè)備輸送裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120472491.1
• 申請(qǐng)日: 2011-11-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202465857U
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃能杰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 黃能杰
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/56
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/56
• 代理公司: 深圳冠華專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 44267
• 代理人: 諸蘭芬

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型系提供一種真空鍍膜設(shè)備輸送裝置，尤指其技術(shù)上提供一種提升生產(chǎn)效率、傳動(dòng)穩(wěn)定和增加產(chǎn)品良率的連續(xù)式真空鍍膜設(shè)備輸送裝置。?

背景技術(shù)

按，現(xiàn)今濺鍍?cè)O(shè)備多為連續(xù)式多腔體型式，以取代傳統(tǒng)批次式或晶圓式生產(chǎn)方式，其傳動(dòng)主要由滾軸是以點(diǎn)接觸方式帶動(dòng)承載盤(pán)，因此具有摩擦力不足而易造成承載盤(pán)打滑，使?jié)L輪空轉(zhuǎn)而無(wú)法移動(dòng)承載盤(pán)，且因承載盤(pán)不平整，在傳動(dòng)時(shí)會(huì)造成位移偏差，具有穩(wěn)定性的問(wèn)題；且摩擦使?jié)L軸表面材質(zhì)磨耗產(chǎn)生污染物附著在承載盤(pán)及腔體內(nèi)，鍍膜表面會(huì)因污染物的影響，產(chǎn)生異質(zhì)顆?；虍惓Ｍ腹舛绊懫渚鶆蚨燃巴腹庑裕哂薪档湾兡べ|(zhì)量與良率的問(wèn)題，又回傳機(jī)構(gòu)只設(shè)一個(gè)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)滾軸，若操作者不小心沒(méi)有將鍍膜基材放置于承載盤(pán)，真空鍍膜設(shè)備輸送出空的承載盤(pán)，且回傳機(jī)構(gòu)無(wú)法在同時(shí)間調(diào)整多個(gè)承載盤(pán)具有不同的傳送速度，則會(huì)延遲作業(yè)循環(huán)的時(shí)間，造成產(chǎn)能降低的問(wèn)題。?

是以，針對(duì)上述習(xí)知結(jié)構(gòu)所存在之問(wèn)題點(diǎn)，如何開(kāi)發(fā)一種更具理想實(shí)用性之創(chuàng)新結(jié)構(gòu)，實(shí)消費(fèi)者所殷切企盼，亦系相關(guān)業(yè)者須努力研發(fā)突破之目標(biāo)及方向。?

有鑒于此，創(chuàng)作人本于多年從事相關(guān)產(chǎn)品之制造開(kāi)發(fā)與設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)，針對(duì)上述之目標(biāo)，詳加設(shè)計(jì)與審慎評(píng)估后，終得一確具實(shí)用性之本創(chuàng)作。?

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的欲解決之技術(shù)問(wèn)題點(diǎn)：習(xí)用之真空鍍膜設(shè)備主要由滾軸以點(diǎn)接處的方式來(lái)帶動(dòng)承載盤(pán)，因摩擦力不足造成承載盤(pán)打滑，使?jié)L輪空轉(zhuǎn)而無(wú)法移動(dòng)承載盤(pán)，且承載盤(pán)不平整，在傳動(dòng)時(shí)會(huì)造成位移偏差，具有穩(wěn)定性的問(wèn)題；且摩擦使?jié)L軸表面材質(zhì)磨耗產(chǎn)生污染物附著在承載盤(pán)及腔體內(nèi)，鍍膜表面會(huì)產(chǎn)生異質(zhì)顆粒或異常透光，具有降低鍍膜質(zhì)量與良率的問(wèn)題，又回傳機(jī)構(gòu)只設(shè)一馬達(dá)驅(qū)動(dòng)滾軸，回傳機(jī)構(gòu)無(wú)法在同時(shí)間調(diào)整多個(gè)承載盤(pán)具有不同的傳送速度，會(huì)延遲到整體作業(yè)的循環(huán)時(shí)間，造成產(chǎn)能降低的問(wèn)題。?

解決問(wèn)題之技術(shù)方案：提供一種連續(xù)式真空鍍膜設(shè)備輸送裝置，系包含有：前端升降機(jī)構(gòu)與后端升降機(jī)構(gòu)分別連接于連續(xù)式真空鍍膜設(shè)備的產(chǎn)品輸入端與輸出端，前端升降機(jī)構(gòu)與后端升降機(jī)構(gòu)分別設(shè)有一雙向運(yùn)轉(zhuǎn)動(dòng)力源，各個(gè)雙向運(yùn)轉(zhuǎn)動(dòng)力源分別驅(qū)動(dòng)復(fù)數(shù)滾軸呈同向轉(zhuǎn)動(dòng)，各個(gè)滾軸沿著連續(xù)式真空鍍膜設(shè)備的輸送方向排列設(shè)置，且各個(gè)軸心方向與輸送方向互相垂直，另前端升降機(jī)構(gòu)與后端升降機(jī)構(gòu)分別設(shè)有一個(gè)可偵測(cè)高點(diǎn)位置的上感測(cè)開(kāi)關(guān)與一個(gè)可偵測(cè)低點(diǎn)位置的下感測(cè)開(kāi)關(guān)，各升降機(jī)構(gòu)鄰近連續(xù)式真空鍍膜設(shè)備的一端設(shè)有一個(gè)感測(cè)開(kāi)關(guān)，且遠(yuǎn)離連續(xù)式真空鍍膜設(shè)備的一端設(shè)有一個(gè)定位感測(cè)開(kāi)關(guān)；位于連續(xù)式真空鍍膜設(shè)備的下方設(shè)有一進(jìn)料基臺(tái)、一鍍膜基臺(tái)與一出料基臺(tái)，連續(xù)式真空鍍膜設(shè)備的下方設(shè)有一組回傳機(jī)構(gòu)，并延伸于前端升降機(jī)構(gòu)與后端升降機(jī)構(gòu)，回傳機(jī)構(gòu)具有一個(gè)動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)數(shù)個(gè)同向轉(zhuǎn)動(dòng)的滾軸，且鄰近前端升降機(jī)構(gòu)的一端設(shè)有一個(gè)感測(cè)開(kāi)關(guān)；前端升降機(jī)構(gòu)、后端升降機(jī)構(gòu)、該進(jìn)料基臺(tái)、該鍍膜基臺(tái)與該出料基臺(tái)分別具有一條帶體、一支撐部與該動(dòng)力源，每一條帶體分別環(huán)設(shè)于其中二個(gè)滾軸與其中支撐部，各個(gè)動(dòng)力源分別驅(qū)動(dòng)回傳機(jī)構(gòu)的數(shù)個(gè)滾軸呈同向轉(zhuǎn)動(dòng)。?

對(duì)照先前技術(shù)之功效：本創(chuàng)作之各滾軸分別環(huán)設(shè)有一帶體，帶體是以面接觸的方式運(yùn)送承載盤(pán)，使承載盤(pán)的運(yùn)輸過(guò)程中不會(huì)打滑或造成位移偏差，且不會(huì)因摩擦而產(chǎn)生污染物或噪音，具有增加運(yùn)送穩(wěn)定性和提升產(chǎn)品良率的功效，并于各個(gè)基臺(tái)設(shè)置一個(gè)馬達(dá)與一偵測(cè)感測(cè)開(kāi)關(guān)，每個(gè)馬達(dá)各自獨(dú)立，當(dāng)承載盤(pán)上沒(méi)有鍍膜成品時(shí)，則偵測(cè)感測(cè)開(kāi)關(guān)會(huì)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)以較快的轉(zhuǎn)速運(yùn)轉(zhuǎn)，使該回傳機(jī)構(gòu)能將空的承載盤(pán)快速送出，調(diào)整回傳機(jī)構(gòu)的循環(huán)時(shí)間，不會(huì)造成下次出料的延遲，以提升產(chǎn)線的生產(chǎn)效率。?

附圖說(shuō)明

圖1：本實(shí)用新型之立體外觀圖。??

圖2：本實(shí)用新型之側(cè)視剖面圖。

圖3：本實(shí)用新型之局部放大立體圖。?

圖4：本實(shí)用新型皮帶之另一實(shí)施例。?

主要組件符號(hào)說(shuō)明：?