[實用新型]多晶硅鑄錠爐快慢抽氣系統

有效

• 申請號: 201120444977.4
• 申請日: 2011-11-11
• 公開（公告）號: CN202440563U
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 李曉平;梁仁和;楊朝旭;文武
• 申請（專利權）人: 北京京儀世紀電子股份有限公司
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及太陽能光伏行業的多晶鑄錠爐，特別是指多晶鑄錠爐的抽氣系統。?

背景技術

多晶鑄錠爐是一種高效節能型鑄錠爐，采用石墨電阻加熱方式，運用先進計算機控制技術，實現穩步定向凝固，生產出高質量、大規格的多晶硅錠。?

多晶硅鑄錠爐生產鑄錠工藝主要有：裝料，抽真空，加熱，熔化、長晶、退火、冷卻7個過程。在實際生產過程中，硅料形狀大小不一，抽真空時如果抽氣速度過快，就會把一些小塊料從裝料的容器中帶出來，散落在爐膛內。加熱過程中硅料熔化，散落在爐膛內的硅料與石墨發生反應，會對石墨部件產生損壞，縮短石墨部件的使用壽命。為了避免上述情況發生，在抽真空時，盡量減小初始階段的抽氣速度，使爐膛內的壓力緩慢下降，待爐膛內的壓力下降到一定程度時在加大抽氣速度，達到生產要求的真空度。?

發明內容

本實用新型針對上述提到的問題，根據多晶鑄錠爐的工藝及技術要求提供一種多晶硅鑄錠快慢抽氣系統，用于多晶硅錠的生產，不僅能夠滿足多晶鑄錠爐真空環境的要求，還可避免小硅料散落在石墨件上，對石墨部件產生損傷，該系統結構簡單，操作方便，效率高，節約成本。?

本實用新型的技術方案是：本實用新型主要結構由快抽管道和慢抽管道兩部分構成，兩部分都和真空機組連接。真空機組有機械泵和羅茨泵組成。快抽管道能實現對爐室快速抽氣，節省時間，慢抽管道主要能避免小塊硅料的抽走，?即避免浪費又保護了真空機組。?

快抽管道口徑大，抽氣速度快，快抽管道一端連接真空機組，然后經由主路高真空隔離閥另一端連接到爐室。慢抽管道口徑小，抽氣速度慢，慢抽管道一端連接真空機組，然后經由過濾器、旁路控制蝶閥和旁路高真空隔離閥另一端連接到爐室，旁路控制蝶閥實現了對爐室內的壓力的控制，過濾器便于對真空泵的保護及減少換油次數。?

通過控制系統控制，初始階段采用慢速抽氣，防止抽走小塊硅料，當爐膛壓力達到一定程度后，采用快速抽氣，即增強抽氣能力又節省抽氣時間。?

附圖說明

附圖為多晶硅鑄錠爐快慢抽氣系統原理圖?

圖中1.快抽管道，2.慢抽管道，3.真空機組，4.主路高真空隔離閥，5.過濾器，6.旁路控制蝶閥，7.旁路高真空隔離閥，8.爐室?

具體實施方式

參照附圖，本實用新型主要結構由快抽管道(1)和慢抽管道(2)兩部分構成，快抽管道(1)一端連接真空機組(3)，然后經由主路高真空隔離閥(4)另一端連接到爐室(8)，慢抽管道(2)一端連接真空機組(3)，然后經由過濾器(5)、旁路控制蝶閥(6)和旁路高真空隔離閥(7)另一端連接到爐室(8)，旁路控制蝶閥(6)實現了對爐室(8)內的壓力的控制，過濾器(5)便于對真空機組(3)的保護及減少換油次數。?

本實用新型實施過程是，初始抽氣時，主路高真空隔離閥(4)關閉，旁路控制蝶閥(6)和旁路高真空隔離閥(7)開啟，實現慢速抽氣，以防抽氣速度太快把小塊硅料帶出散落在爐室(8)內，當壓力下降到200mbar時，主路高真空隔離閥(4)自動打開，同時關閉旁路高真空隔離閥(7)進行快速抽氣，能?夠快速把爐室內壓力抽到工藝要求的程度。?