[實用新型]多晶硅鑄錠爐快慢抽氣系統有效

申請號：	201120444977.4	申請日：	2011-11-11
公開（公告）號：	CN202440563U	公開（公告）日：	2012-09-19
發明（設計）人：	李曉平;梁仁和;楊朝旭;文武	申請（專利權）人：	北京京儀世紀電子股份有限公司
主分類號：	C30B11/00	分類號：	C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	100079 北***	國省代碼：	北京;11
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	多晶鑄錠快慢系統
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【權利要求書】：

1.一種多晶硅鑄錠爐快慢抽氣系統，其特征是：包括快抽管道，慢抽管道，真空機組，主路高真空隔離閥，過濾器，旁路控制蝶閥，旁路高真空隔離閥和爐室，快抽管道一端連接真空機組，然后經由主路高真空隔離閥另一端連接到爐室，慢抽管道一端連接真空機組，然后經由過濾器、旁路控制蝶閥和旁路高真空隔離閥另一端連接到爐室。

2.根據權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐快慢抽氣系統，其特征是：真空機組有機械泵和羅茨泵組成。

3.根據權利要求1所述的一種多晶鑄錠爐快慢抽氣系統，其特征是：快抽管道口徑大，慢抽管道口徑小。?

下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。

免登錄下載普通用戶下載升級VIP會員，免費下載

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于北京京儀世紀電子股份有限公司，未經北京京儀世紀電子股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201120444977.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。