[實(shí)用新型]氣敏傳感器性能測試用氣體循環(huán)裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120441730.7 | 申請日： | 2011-11-09 |
| 公開（公告）號： | CN202393754U | 公開（公告）日： | 2012-08-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張亞非;王劍;陳海燕;魏浩;徐東 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海交通大學(xué) |
| 主分類號： | G01N33/00 | 分類號： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 上海旭誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31220 | 代理人： | 鄭立 |
| 地址： | 200240 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 傳感器 性能 測試 氣體 循環(huán) 裝置 | ||
1.一種氣敏傳感器性能測試用氣體循環(huán)裝置，其特征在于，包括：
混氣室，所述混氣室包括進(jìn)氣口和出氣口，所述混氣室的出氣口與測試室通過進(jìn)氣管連接；
待測氣瓶，所述待測氣瓶包括出氣口，所述待測氣瓶的出氣口與所述混氣室的進(jìn)氣口通過第一管道連接；
載氣瓶，所述載氣瓶包括出氣口，所述載氣瓶的出氣口與所述混氣室的進(jìn)氣口通過第二管道連接；
排氣泵，所述排氣泵包括進(jìn)氣口和出氣口，所述排氣泵的進(jìn)氣口與所述測試室通過出氣管連接；
循環(huán)氣室，所述循環(huán)氣室包括進(jìn)氣口和出氣口，所述循環(huán)氣室的出氣口與所述混氣室的進(jìn)氣口通過第三管道連接，所述循環(huán)氣室的進(jìn)氣口與所述排氣泵的出氣口通過第四管道連接。
2.如權(quán)利要求1所述的氣敏傳感器性能測試用氣體循環(huán)裝置，其特征在于，所述混氣室是機(jī)械攪拌混氣室。
3.如權(quán)利要求1所述的氣敏傳感器性能測試用氣體循環(huán)裝置，其特征在于，所述排氣泵是耐腐蝕排氣泵。
4.如權(quán)利要求1所述的氣敏傳感器性能測試用氣體循環(huán)裝置，其特征在于，所述氣敏傳感器性能測試用氣體循環(huán)裝置還包括：
第一減壓閥，所述第一減壓閥設(shè)置在所述待測氣瓶的出氣口；
第一質(zhì)量流量控制器，所述第一質(zhì)量流量控制器設(shè)置在所述第一管道上；
第一兩通開關(guān)，所述第一兩通開關(guān)設(shè)置在所述第一管道上，并且位于所述第一質(zhì)量流量控制器的下游。
5.如權(quán)利要求4所述的氣敏傳感器性能測試用氣體循環(huán)裝置，其特征在于，所述氣敏傳感器性能測試用氣體循環(huán)裝置還包括：
第二減壓閥，所述第二減壓閥設(shè)置在所述載氣瓶的出氣口；
第二質(zhì)量流量控制器，所述第二質(zhì)量流量控制器設(shè)置在所述第二管道上；
第二兩通開關(guān)，所述第二兩通開關(guān)設(shè)置在所述第二管道上，并且位于所述第二質(zhì)量流量控制器的下游；
第一三通閥，所述第一管道與所述第二管道交匯，在交匯處設(shè)置有所述第一三通閥，所述第一三通閥位于所述第一兩通開關(guān)和所述第二兩通開關(guān)的下游。
6.如權(quán)利要求4所述的氣敏傳感器性能測試用氣體循環(huán)裝置，其特征在于，所述氣敏傳感器性能測試用氣體循環(huán)裝置還包括：
第三兩通開關(guān)，所述第三兩通開關(guān)設(shè)置在所述出氣管上。
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