[實用新型]氣敏傳感器性能測試用氣體循環裝置

有效

• 申請號: 201120441730.7
• 申請日: 2011-11-09
• 公開（公告）號: CN202393754U
• 公開（公告）日: 2012-08-22
• 發明（設計）人: 張亞非;王劍;陳海燕;魏浩;徐東
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 上海旭誠知識產權代理有限公司 31220
• 代理人: 鄭立

技術領域

本實用新型涉及傳感器性能測試系統，尤其涉及一種氣敏傳感器性能測試用氣體循環裝置。

背景技術

氣敏傳感器可隨時檢測可燃、易爆、毒性等氣體，因而其在環境監測、煤礦開采、地質災害、醫療診斷、國防軍事等領域具有廣泛的應用。為了杜絕氣體泄露和提高實際生產的安全性，人們對氣敏傳感器的精度、可靠性的測試和鑒定提出了更高的要求。比如：要求氣敏傳感器測試系統能夠測試傳感器在不同溫度、不同濕度、不同濃度氣氛下的氣敏特性，這就對氣敏傳感器的測試裝置提出了更為苛刻的要求。因此，研制和開發溫度可控、濕度可調、濃度可變、測試廢氣可回收的穩定可靠氣敏傳感器性能測試裝置將具有非常重要的現實意義。

經對現有的文獻檢索發現，中國專利申請號200610112883.0，記載了“一種對氣體傳感器或半導體器件性能進行測試的系統”，其中公開了一種包括由配氣單元、加熱單元和測試單元組成的裝置，此裝置通過加熱器加熱來達到高溫下對氣敏傳感器的氣敏特性進行測試。但這種裝置不能模擬野外零下幾十度的環境，對氣敏傳感器在極低溫度的性能不能夠進行很好的測量和鑒定。中國專利申請號200710063698.1，記載了“一種氣敏傳感器標定和可靠性測試系統”，其中公開了一種包括由進氣單元、氣體流量監控及組分控制單元、氣體混合腔、真空測試腔和傳感器電參量測試裝置組成的系統，其通過流量監控達到了對不同濃度、不同種類氣體氣敏特性的測試。但此裝置無法模擬環境濕度變化，而濕度的變化對氣敏傳感器的測量精度具有很大的影響。

進一步檢索發現，Ming-Ru?Yu，Ren-Jang?Wu，Murthy?Chavali，Effect?of“Pt”loading?in?ZnO-CuO?hetero-junction?material?sensing?carbon?monoxide?at?room?temperature，Sens.Actuators?B?153(2011)321-328(室溫下氧化鋅-氧化銅異質結添加鉑元素對一氧化碳氣敏性的影響，(瑞士)傳感器與執行器B)，在不同溫度下對氣敏傳感器性能進行了測試，文章中的裝置采用了動態氣流流動系統，克服了封閉式進氣系統氣流擴散限制的不足，從而提高了氣敏傳感器的響應速率，并可測試傳感器的動態響應。這種方法有望實現快速穩定的測試，但由于此裝置沒有氣體均勻混合裝置，導致很難模擬實際生產氣體環境；再加上測試廢氣沒有得到很好的處理或回收再利用，更導致了易燃、易爆、有毒氣體的測試廢氣可能對環境造成很大的污染和破壞，最終大大限制了此裝置的開發和投入使用。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提出一種氣敏傳感器性能測試用氣體循環裝置，以解決現在的氣敏傳感器性能測試系統的廢氣無法回收利用、造成環境污染的技術問題。

本實用新型通過以下技術方案解決上述技術問題。

一種氣敏傳感器性能測試用氣體循環裝置，包括：

混氣室，所述混氣室包括進氣口和出氣口，所述混氣室的出氣口與測試室通過進氣管連接；

待測氣瓶，所述待測氣瓶包括出氣口，所述待測氣瓶的出氣口與所述混氣室的進氣口通過第一管道連接；

載氣瓶，所述載氣瓶包括出氣口，所述載氣瓶的出氣口與所述混氣室的進氣口通過第二管道連接；

排氣泵，所述排氣泵包括進氣口和出氣口，所述排氣泵的進氣口與所述測試室通過出氣管連接；

循環氣室，所述循環氣室包括進氣口和出氣口，所述循環氣室的出氣口與所述混氣室的進氣口通過第三管道連接，所述循環氣室的進氣口與所述排氣泵的出氣口通過第四管道連接。

在本實用新型實施時，優選地，所述混氣室是機械攪拌混氣室。

在本實用新型實施時，優選地，所述排氣泵是耐腐蝕排氣泵。

在本實用新型實施時，優選地，所述氣敏傳感器性能測試用氣體循環裝置還包括：

第一減壓閥，所述第一減壓閥設置在所述待測氣瓶的出氣口；

第一質量流量控制器，所述第一質量流量控制器設置在所述第一管道上；

第一兩通開關，所述第一兩通開關設置在所述第一管道上，并且位于所述第一質量流量控制器的下游。進一步，所述氣敏傳感器性能測試用氣體循環裝置還包括：

第二減壓閥，所述第二減壓閥設置在所述載氣瓶的出氣口；

第二質量流量控制器，所述第二質量流量控制器設置在所述第二管道上；

第二兩通開關，所述第二兩通開關設置在所述第二管道上，并且位于所述第二質量流量控制器的下游；