[實用新型]一種化學氣相沉積尾氣處理裝置

有效

• 申請號: 201120435175.7
• 申請日: 2011-11-04
• 公開（公告）號: CN202355972U
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發明（設計）人: 李東生;姜海;閆桂沈;周志偉;劉喬冰
• 申請（專利權）人: 北京百慕航材高科技股份有限公司
• 主分類號: B01D50/00
• 分類號: B01D50/00;C23C16/00
• 代理公司: 中國航空專利中心 11008
• 代理人: 李建英

技術領域

本實用新型涉及一種氣體處理過濾裝置，特別涉及一種化學氣相沉積尾氣處理裝置。?

背景技術

目前，化學氣相沉積過程排出的尾氣包括有多種有害氣體和熱解炭微粒子，直接排向大氣將產生大量的環境污染。所以目前國內外均采用一定的過濾裝置對其進行處理后再排入大氣。而目前大多數廠家采用的方法多是一級過濾罐的過濾方式，處理方法過于簡單、效率較低，處理尾氣的能力有限，排出的尾氣仍含有大量的污染物，所以開發一種更高效、尾氣排放物更潔凈的過濾裝置成為當務之急。?

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種結構簡單、易實現、過濾效果好、使用持久的化學氣相沉積爐尾氣處理裝置。?

本實用新型的技術方案是：處理裝置包括一級空氣冷卻罐、二級空氣冷卻罐、循環式油過濾罐、絲網過濾罐、活性炭過濾罐，一級空氣冷卻罐與化學氣相沉積爐之間用密閉金屬管道連接，一級空氣冷卻罐與二級空氣冷卻罐、循環式油過濾罐、絲網過濾罐、活性炭過濾罐依次與密閉金屬管道連接，一級空氣冷卻罐、二級空氣冷卻罐、循環式油過濾罐、絲網過濾罐、活性炭過濾罐的下方均設有排泄口，每個罐均采用下進氣上出氣的結構。?

所述的循環式油過濾罐的上方與循環油泵的出油口相接，循環式油過濾罐的下方與循環油泵的進油口相接。?

本實用新型結構新穎、設計采用了多個濾罐分開過濾不同的尾氣產物，過濾尾氣時逐級冷卻、不同罐體過濾不同種類的氣體和微粒子，該裝置功能強大、過濾效果高，使用壽命長，并本裝置具有多級過濾體系，即使一級失效，并不影響整體過濾效果。經此設備過濾的化學氣相沉積爐排出的尾氣可達到排放標準的要求。?

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。?

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型用進一步的描述。?

如圖1所示的一種化學氣相沉積爐尾氣多級處理過濾裝置，包括一級空氣冷卻罐1、二級空氣冷卻罐2、循環式油過濾罐3、絲網過濾罐4、活性炭過濾罐5組成。一級空氣冷卻罐1與化學氣相沉積爐6之間用密閉金屬管道連接，一級空氣冷卻罐1與二級空氣冷卻罐2、循環式油過濾罐3、絲網過濾罐4、活性炭過濾罐5依次密閉金屬管道連接，一級空氣冷卻罐1、二級空氣冷卻罐2、循環式油過濾罐3、絲網過濾罐4、活性炭過濾罐5的下方均設有排泄口7，每個罐均采用下進氣上出氣的結構。?

安裝時，由化學氣相沉積爐6引出尾氣的管道接在一級空氣冷卻罐1上，先進行一次尾氣冷卻，然后，由管道接入二級空氣冷卻罐2，再由管道接入循環式油過濾罐3，其后管道再接入絲網過濾罐4，及后續的活性炭過濾罐5。最后，完成以上過濾的尾氣排向整個裝置出氣管道。?

在此過濾裝置中，循環式油過濾罐3的過濾油是采用油泵抽排，環循使用的。?