[實(shí)用新型]一種化學(xué)氣相沉積尾氣處理裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201120435175.7 | 申請(qǐng)日： | 2011-11-04 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN202355972U | 公開（公告）日： | 2012-08-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李東生;姜海;閆桂沈;周志偉;劉喬冰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京百慕航材高科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B01D50/00 | 分類號(hào)： | B01D50/00;C23C16/00 |
| 代理公司： | 中國(guó)航空專利中心 11008 | 代理人： | 李建英 |
| 地址： | 100095*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 化學(xué) 沉積 尾氣 處理 裝置 | ||
1.一種化學(xué)氣相沉積尾氣處理裝置，其特征在于：處理裝置包括一級(jí)空氣冷卻罐(1)、二級(jí)空氣冷卻罐(2)、循環(huán)式油過濾罐(3)、絲網(wǎng)過濾罐(4)、活性炭過濾罐(5)，一級(jí)空氣冷卻罐(1)與化學(xué)氣相沉積爐(6)之間用密閉金屬管道連接，一級(jí)空氣冷卻罐(1)與二級(jí)空氣冷卻罐(2)、循環(huán)式油過濾罐(3)、絲網(wǎng)過濾罐(4)、活性炭過濾罐(5)依次與密閉金屬管道連接，一級(jí)空氣冷卻罐(1)、二級(jí)空氣冷卻罐(2)、循環(huán)式油過濾罐(3)、絲網(wǎng)過濾罐(4)、活性炭過濾罐(5)的下方均設(shè)有排泄口，每個(gè)罐均采用下進(jìn)氣上出氣的結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)氣相沉積尾氣處理裝置，其特征是，所述的循環(huán)式油過濾罐(3)的上方與油循環(huán)泵的出油口相接，循環(huán)式油過濾罐(3)的下方與油循環(huán)泵的進(jìn)油口相接。?
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于北京百慕航材高科技股份有限公司，未經(jīng)北京百慕航材高科技股份有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
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