[實(shí)用新型]晶圓薄膜定向生長(zhǎng)的監(jiān)控裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120429200.0
• 申請(qǐng)日: 2011-11-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202330278U
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 涂火金;三重野文健
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/35
• 分類號(hào): G01N21/35;H01L21/66
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種晶圓薄膜定向生長(zhǎng)的監(jiān)控裝置，設(shè)置于反應(yīng)腔內(nèi)，其特征在于，包括紅外線發(fā)射器和紅外線探測(cè)器，所述紅外線發(fā)射器和所述紅外線探測(cè)器相對(duì)設(shè)置于所述反應(yīng)腔的頂部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓薄膜定向生長(zhǎng)的監(jiān)控裝置，其特征在于，所述紅外線發(fā)射器可轉(zhuǎn)動(dòng)角度式設(shè)置于所述反應(yīng)腔的頂部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓薄膜定向生長(zhǎng)的監(jiān)控裝置，其特征在于，所述紅外線發(fā)射器通過(guò)萬(wàn)向接頭設(shè)置于所述反應(yīng)腔的頂部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓薄膜定向生長(zhǎng)的監(jiān)控裝置，其特征在于，所述紅外線探測(cè)器可轉(zhuǎn)動(dòng)角度式設(shè)置于所述反應(yīng)腔的頂部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓薄膜定向生長(zhǎng)的監(jiān)控裝置，其特征在于，所述紅外線探測(cè)器通過(guò)萬(wàn)向接頭設(shè)置于所述反應(yīng)腔的頂部。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的晶圓薄膜定向生長(zhǎng)的監(jiān)控裝置，其特征在于，所述晶圓薄膜定向生長(zhǎng)的監(jiān)控裝置還包括一控制器，所述反應(yīng)腔內(nèi)設(shè)有供氣管路，所述供氣管路上設(shè)有控制閥，所述控制器分別與所述紅外線探測(cè)器和所述控制閥連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓薄膜定向生長(zhǎng)的監(jiān)控裝置，其特征在于，所述晶圓薄膜定向生長(zhǎng)的監(jiān)控裝置還包括一報(bào)警器，所述報(bào)警器和所述控制器連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的晶圓薄膜定向生長(zhǎng)的監(jiān)控裝置，其特征在于，所述晶圓薄膜定向生長(zhǎng)的監(jiān)控裝置還包括一報(bào)警器，所述報(bào)警器和所述紅外線探測(cè)器連接。