[實用新型]一種清洗硅片用清洗筐

有效

• 申請號: 201120384612.7
• 申請日: 2011-10-11
• 公開（公告）號: CN202268336U
• 公開（公告）日: 2012-06-06
• 發明（設計）人: 高婷;王生遠;李海龍;菅瑞娟;劉濤;王彥君;王巖;王剛
• 申請（專利權）人: 天津市環歐半導體材料技術有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 天津中環專利商標代理有限公司 12105
• 代理人: 莫琪

技術領域

本實用新型涉及電子信息材料中硅材料的加工領域，特別涉及一種清洗硅片用清洗筐，清洗筐應用于硅片前道清洗工序。

背景技術

近年來，由于電子信息產業的飛速發展、產品需求的不斷提高，對電子產品的主要原材料--硅晶圓片在質量方面提出了更高的要求。順從大的趨勢，對晶圓片的表面質量要求越來越高。同時隨著信息產業對硅片需求量的不斷提高，要求生產出更多的硅晶圓片，對清洗工序的產量也提出新的要求。但是傳統清洗工序中的清洗筐設計比較落后，并且遲遲沒有改進，嚴重制約了清洗環節的發展。

傳統清洗筐的不足主要體現在三個方面：1.對硅圓片的質量方面：清洗機內的清洗槽底部裝有超聲震板，超聲從振板里從下往上發出，作用在硅片中。傳統清洗筐底部托盤采用“田”字形桿結構，“田”字形桿遮擋了向上的超聲，造成硅片表面受超聲作用不均勻，導致局部清洗不干凈，影響清洗質量。2.清洗筐堅固方面：傳統清洗筐采用正四邊型固定，容易造成形變、扭曲，在使用時對硅片產生應力，對硅片質量造成潛在危險，嚴重時導致筐內硅片全部碎裂。3.產能方面：因清洗機內槽體尺寸固定，清洗筐尺寸要小于清洗槽體尺寸，這很大程度上限制了清洗筐尺寸?傳統清洗筐尺寸395*350mm?，使清洗筐只能放3寸片架6個、4寸片架4個、5寸片架4個、6寸片架2個。

基于半導體產業對硅圓片表面清洗質量、產量的要求不斷提高和現形勢下清洗筐的諸多不足，迫使我們對現有清洗筐經行局部改造，提高清洗水平。需要研制一種能提高表面質量和清洗產能的清洗筐。而目前國內尚未有能達到上述要求的清洗硅片用清洗筐出現，也未見文獻有此方面技術文章的報道。

發明內容

本實用新型的目的就是為克服現有技術的不足，針對清洗工序的需求，提供一種硅片清洗筐的設計方案，通過改進現有硅片清洗筐的結構，使其在于清洗工序發揮效能，從而提高硅圓片清洗的表面質量、使清洗筐更加堅固和提高硅圓片的清洗產能。

本實用新型是通過這樣的技術方案實現的：一種清洗硅片用清洗筐由主框架、筐架提拉部位和片架滑道組件三大部分組成，其特征在于，所述的主框架主要由四個水平放置的底部固定桿、四個水平放置的上部固定桿、四個垂直放置的豎直固定桿構成框架主體，框架主體起主要支撐作用；其中，四個水平放置的上部固定桿分為兩個橫向和兩個縱向的固定桿，兩個橫向和兩個縱向的固定桿的固定位置不在一個水平線。

筐架提拉部位主要包括兩個梯形提拉橫桿和兩個銜接桿連接構成；

片架滑道組件包括2個π形滑動套和2個片架軌道桿，π形滑動套的兩端為滑動套管，兩滑動套管之間為支撐管，片架滑道組件中由每兩個π形滑動套和一個片架軌道桿連接為一組，兩組π形滑動套分別套裝在兩個豎直固定桿上；?片架軌道桿通過滑動套連接在豎直固定桿上，滑動套沿豎直固定桿上下可調節，片架滑道組件通過頂絲在豎直固定桿上固定位置；擋片卡在片架軌道桿相鄰橫桿上。

四個豎直固定桿上部焊接四個定位擋片，用于清洗過程中清洗筐的定位。

擋片是由一片方形帶兩個卡口的不銹鋼板構成，兩個卡口配合卡在與片架軌道桿相鄰橫桿上。??

清洗筐所用材質為直徑10mm的不銹鋼桿。

本實用新型的有益效果：改進后的清洗筐主框架結構簡單，不遮擋向上的超聲波，硅片表面受超聲作用均勻，清洗硅圓片的表面潔凈度，清洗筐的堅固，提高了清洗硅圓片產能。

附圖說明

圖1：磨片清洗筐主視圖；

圖2：磨片清洗筐俯視圖；

圖3：磨片清洗筐側視圖；

圖4：擋片結構示意圖。

其中：1.主框架，2.框架提拉部位，?3.片架滑道，?4.豎直固定桿，5.滑動套，6.頂絲，7.?底部固定桿，?8.片架軌道桿，9．上部固定桿，?10.擋片，?11.定位擋片，12.提拉橫桿，?13.銜接桿；?14.三角固定桿，51.?滑動套管，?52.支撐管。

具體實施方式

為了更清楚的理解本實用新型，結合附圖和實例詳細描述本實用新型：

如圖1至圖4所示，一種清洗硅片用清洗筐由主框架?1?、筐架提拉部位?2?和片架滑道組件?3?三大部分組成，所述的主框架?1主要由四個水平放置的底部固定桿7、四個水平放置的上部固定桿9、四個垂直放置的豎直固定桿?4?組成構成框架主體，框架主體起主要支撐作用；其中，四個水平放置的上部固定桿?9?分為兩個橫向和兩個縱向的固定桿，兩個橫向和兩個縱向的固定桿的固定位置不在一個水平線。