[實用新型]一種清洗硅片用清洗筐

有效

• 申請號: 201120384612.7
• 申請日: 2011-10-11
• 公開（公告）號: CN202268336U
• 公開（公告）日: 2012-06-06
• 發明（設計）人: 高婷;王生遠;李海龍;菅瑞娟;劉濤;王彥君;王巖;王剛
• 申請（專利權）人: 天津市環歐半導體材料技術有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 天津中環專利商標代理有限公司 12105
• 代理人: 莫琪

1.一種清洗硅片用清洗筐由主框架（1）、筐架提拉部位（2）和片架滑道組件（3）三大部分組成，其特征在于，所述的主框架(1)主要由四個水平放置的底部固定桿(7)、四個水平放置的上部固定桿(9)、四個垂直放置的豎直固定桿(4)構成框架主體，框架主體起主要支撐作用；其中，四個水平放置的上部固定桿(9)分為兩個橫向和兩個縱向的固定桿，兩個橫向和兩個縱向的固定桿的固定位置不在一個水平線，筐架提拉部位（2）主要包括兩個梯形提拉橫桿（12）和兩個銜接桿（13）連接構成；

片架滑道組件（3）包括2個π形滑動套(5)和2個片架軌道桿（8），π形滑動套(5)的兩端為滑動套管（51），兩滑動套管（51）之間為支撐管（52），片架滑道組件（3）中由每兩個π形滑動套(5)和一個片架軌道桿（8）連接為一組，兩組π形滑動套(5)分別套裝在兩個豎直固定桿（4）上；?片架軌道桿（8）通過滑動套（5）連接在豎直固定桿（4）上，滑動套（5）沿豎直固定桿（4）上下可調節，片架滑道組件（3）通過頂絲（6）在豎直固定桿（4）上固定位置；擋片(10)卡在與片架軌道桿（8）相鄰橫桿上，四個豎直固定桿（4）上部焊接四個定位擋片（11），用于清洗過程中清洗筐的定位。

2.如權利要求1所述清洗硅片用清洗筐，其特征在于，擋片(10)是由一片方形帶兩個卡口的不銹鋼板構成，兩個卡口配合卡在與片架軌道桿（8）相鄰橫桿上。

3.?如權利要求1所述清洗硅片用清洗筐，其特征在于，清洗筐所用材質為直徑10mm的不銹鋼桿。