[實用新型]多晶硅尾氣吸附裝置

有效

• 申請號: 201120367982.X
• 申請日: 2011-09-30
• 公開（公告）號: CN202237705U
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發明（設計）人: 陶剛義
• 申請（專利權）人: 江西晶大半導體材料有限公司
• 主分類號: B01D53/02
• 分類號: B01D53/02;B01D53/14
• 代理公司: 南昌市平凡知識產權代理事務所 36122
• 代理人: 徐光熙

技術領域

本實用新型涉及一種多晶硅行業尾氣處理裝置，屬環保產品領域。?

背景技術

多晶硅企業在還原三氯氫硅過程中會產生大量氯硅烷尾氣，成分和結構復雜，主要是四氯化硅和三氯氫硅，其次還有二氯二氫硅等多種硅烷形式，分離和精餾比較困難，轉化率也非常低。目前技術路線比較可行且又比較經濟的辦法就是通過焚燒高溫水解或低溫水解氯硅烷氣體，產生25%以上的鹽酸和二氧化硅，然后解析鹽酸回收氯化氫到系統中再利用或將鹽酸出售，副產的二氧化硅含雜質較多，運輸不便，不具備商品價值，無法出售；直接排放環保部門又不允許，找地方填埋代價太大同時還會改變土壤的酸堿度，污染地下水。所以必須對多晶硅行業尾氣進行處理。?

發明內容

?????本實用新型的目的是針對現有技術的不足提供一種低碳、環保的多晶硅尾氣原料吸附回收裝置。?

?????本實用新型的結構包括：尾氣入口、尾氣出口、再生氣入口、再生氣出口、蒸汽入口、冷凝水出口、筒體。?

尾氣入口和尾氣出口分別設置于吸附裝置的下端和頂端，再生氣入口和再生氣出口設置于筒體一側的下部和上部，筒體另一側的下部和上部分別設置蒸汽入口和冷凝水出口，筒體內裝有吸附劑活性炭。?

本實用新型的有益效果是：多晶硅行業尾氣均為可回收的產品或可循環使用的原料。對尾氣進行有效的治理，不僅可以提高原料的利用率，還可以降低三廢的排放量。?

附圖說明

?????附圖1是本實用新型的結構示意圖；?

?????圖中1、尾氣入口，2、尾氣出口，3、再生氣入口，4再生氣出口，5、蒸汽入口，6、冷凝水出口，7、筒體。

具體實施方式

??本實用新型的結構包括：尾氣入口、尾氣出口、再生氣入口、再生氣出口、蒸汽入口、冷凝水出口、筒體。?

尾氣入口和尾氣出口分別設置于吸附裝置的下端和頂端，再生氣入口和再生氣出口設置于筒體一側的下部和上部，筒體另一側的下部和上部分別設置蒸汽入口和冷凝水出口。?

由于多晶硅尾氣屬間歇性排出，尾氣排放量較大時，利用活性炭對氯硅烷的吸附作用，當尾氣中氯化氫、氫氣及少量未液化的氯硅烷經過活性炭后，其中的氯硅烷就被活性炭吸附，當活性炭吸附飽和后，由蒸汽加熱，脫出吸附的氯硅烷，未被吸附的氯化氫經水吸收后，變為副產品鹽酸外售。氫氣經過水封放空處理。?