[實用新型]多晶硅尾氣吸附裝置有效
| 申請號： | 201120367982.X | 申請日： | 2011-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN202237705U | 公開（公告）日： | 2012-05-30 |
| 發明（設計）人： | 陶剛義 | 申請（專利權）人： | 江西晶大半導體材料有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/02 | 分類號： | B01D53/02;B01D53/14 |
| 代理公司： | 南昌市平凡知識產權代理事務所 36122 | 代理人： | 徐光熙 |
| 地址： | 330115 江*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多晶 尾氣 吸附 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種多晶硅尾氣吸附裝置，其特征是：所述裝置由尾氣入口、尾氣出口、再生氣入口、再生氣出口、蒸汽入口、冷凝水出口、筒體組成；尾氣入口和尾氣出口分別設置于吸附裝置的下端和頂端，再生氣入口和再生氣出口設置于筒體一側的下部和上部，筒體另一側的下部和上部分別設置蒸汽入口和冷凝水出口。
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