[實用新型]防污染裝置

有效

• 申請號: 201120361230.2
• 申請日: 2011-09-23
• 公開（公告）號: CN202366896U
• 公開（公告）日: 2012-08-08
• 發明（設計）人: 劉效巖
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: B08B3/00
• 分類號: B08B3/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術領域

本實用新型涉及半導體晶片工藝技術領域，特別涉及一種防污染裝置。?

背景技術

隨著晶片的尺寸越來越大，特征尺寸越來越小，所要求的晶片表面的潔凈度越來越苛刻。在晶片清洗過程中，化學試劑及清洗產物易沿晶片邊緣進入晶片背面，使晶片背面及邊緣造成污染，如果不能及時去除這種污染，會使晶片背面和邊緣造成缺陷，尤其在后續的高溫處理工藝加工過程中，會使背面及邊緣的污染物擴散到正面，嚴重影響晶片的質量，而現有技術中，并沒有能夠有效防止晶片背面及邊緣污染的裝置，使得晶片的質量無法進一步提高。?

實用新型內容

(一)要解決的技術問題?

本實用新型要解決的技術問題是：如何防止清洗液及清洗產物沿晶片邊緣進入晶片背面，從而防止晶片背面和邊緣形成缺陷。?

(二)技術方案?

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種防污染裝置，包括：吹掃單元、供氣管道和氣體供應單元，在所述吹掃單元內設有通氣管，所述吹掃單元的上端設有若干第一氣孔，所述若干第一氣孔分別與所述通氣管連通，所述供氣管道的一端與所述通氣管連通，所述供氣管道的另一端與所述氣體供應單元連通。?

優選地，所述吹掃單元為中空的圓臺形、且上底面的直徑小于下底面的直徑，所述通氣管繞所述吹掃單元的圓周方向一周設置，所述吹掃單元上端的外側壁與內側壁之間的夾角為銳角。?

優選地，所述吹掃單元的上端為圓環形，所述圓環形的外圓與所述吹掃單元的外側壁連接，所述圓環形的內圓與所述吹掃單元的內側壁連接，所述若干第一氣孔設于所述吹掃單元的上端。?

優選地，所述若干第一氣孔為豎直向上設置、或按被吹掃對象沿圓周旋轉的切線方向與豎直向上方向之間呈預設角度傾斜設置。?

優選地，所述供氣管道包括：自氣體供應單元向吹掃單元方向依次連通的中空管、連接管和連接通道，所述連接通道與所述吹掃單元的通氣管連通。?

優選地，所述連接通道沿所述吹掃單元的直徑設置，所述連接通道的外表面為柱體，且橫截面為梯形，所述連接通道橫截面的上底長度小于下底長度、且兩腰之間呈鈍角的夾角。?

優選地，所述連接通道的上端設有若干第二氣孔，所述若干第二氣孔分別與所述通氣管連通。?

優選地，所述裝置應用于單晶片清洗設備中。?

(三)有益效果?

本實用新型通過設置吹掃單元，實現了防止清洗液及清洗產物沿晶片邊緣進入晶片背面，從而防止晶片背面和邊緣形成缺陷。?

附圖說明

圖1是按照本實用新型一種實施方式的防污染裝置的結構示意圖；?

圖2是圖1所示的防污染裝置的俯視圖；?

圖3是圖2所示的防污染裝置的局部放大圖；?

圖4是圖1所示的防污染裝置的仰視圖；?

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。?

圖1是按照本實用新型一種實施方式的防污染裝置的結構示意圖，包括：吹掃單元1、供氣管道和氣體供應單元，在所述吹掃單元1內設有通氣管2，所述吹掃單元1的上端設有若干第一氣孔3，所述若干第一氣孔3分別與所述通氣管2連通，所述通氣管2與所述供氣管道的一端連通，所述供氣管道的另一端與所述氣體供應單元連通。?

優選地，所述吹掃單元1為中空的圓臺形、且上底面的直徑小于下底面的直徑，所述通氣管繞所述吹掃單元1的圓周方向一周設置，所述吹掃單元1上端的外側壁與內側壁之間的夾角為銳角。?

為方便所述若干第一氣孔3的設置，優選地，所述吹掃單元的上端為圓環形，所述圓環形的外圓與所述吹掃單元的外側壁連接，所述圓環形的內圓與所述吹掃單元的內側壁連接，所述若干第一氣孔設于所述吹掃單元的上端。?

優選地，所述若干第一氣孔3為豎直向上設置、或被吹掃對象沿圓周旋轉的切線方向與豎直向上方向之間呈預設角度傾斜設置。?

優選地，所述供氣管道包括：自氣體供應單元向吹掃單元方向依次連通的中空管4、連接管5和連接通道6，所述連接通道6與所述吹掃單元1的通氣管2連通。?

參照圖1～4，優選地，所述連接通道6沿所述吹掃單元1的直徑設置，所述連接通道6的外表面7為柱體，且橫截面為梯形，所述連接通道6橫截面的上底長度大于下底長度、且兩腰之間呈鈍角的夾角，所述連接通道6的外表面7的下端與所述中空管4連通，所述連接通道6通過安裝孔8與所述中空管4連接。?