[實用新型]防污染裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120361230.2 | 申請日: | 2011-09-23 |
| 公開(公告)號: | CN202366896U | 公開(公告)日: | 2012-08-08 |
| 發(fā)明(設計)人: | 劉效巖 | 申請(專利權)人: | 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司 |
| 主分類號: | B08B3/00 | 分類號: | B08B3/00;H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京路浩知識產(chǎn)權代理有限公司 11002 | 代理人: | 王瑩 |
| 地址: | 100016 北京市*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 污染 裝置 | ||
1.一種防污染裝置,其特征在于,包括:吹掃單元、供氣管道和氣體供應單元,在所述吹掃單元內設有通氣管,所述吹掃單元的上端設有若干第一氣孔,所述若干第一氣孔分別與所述通氣管連通,所述供氣管道的一端與所述通氣管連通,所述供氣管道的另一端與所述氣體供應單元連通。
2.如權利要求1所述的裝置,其特征在于,所述吹掃單元為中空的圓臺形、且上底面的直徑小于下底面的直徑,所述通氣管繞所述吹掃單元的圓周方向一周設置,所述吹掃單元上端的外側壁與內側壁之間的夾角為銳角。
3.如權利要求2所述的裝置,其特征在于,所述吹掃單元的上端為圓環(huán)形。
4.如權利要求3所述的裝置,其特征在于,所述若干第一氣孔為豎直向上設置、或按被吹掃對象沿圓周旋轉的切線方向與豎直向上方向之間呈預設角度傾斜設置。
5.如權利要求1所述的裝置,其特征在于,所述供氣管道包括:自氣體供應單元向吹掃單元方向依次連通的中空管、連接管和連接通道,所述連接通道與所述吹掃單元的通氣管連通。
6.如權利要求5所述的裝置,其特征在于,所述連接通道沿所述吹掃單元的直徑設置,所述連接通道的外表面為柱體,且橫截面為梯形,所述連接通道橫截面的上底長度小于下底長度、且兩腰之間呈鈍角的夾角。
7.如權利要求6所述的裝置,其特征在于,所述連接通道的上端設有若干第二氣孔,所述若干第二氣孔分別與所述通氣管連通。
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