[實用新型]一種用于平板硅外延爐的冷卻水分配板

有效

• 申請號: 201120361071.6
• 申請日: 2011-09-26
• 公開（公告）號: CN202246853U
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發明（設計）人: 馬利行;施國政;陳凌兵
• 申請（專利權）人: 南京國盛電子有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/24
• 代理公司: 南京知識律師事務所 32207
• 代理人: 張蘇沛

技術領域

本實用新型涉及一種分配板，尤其是涉及一種平板硅外延爐腔體的分配板，屬于冷卻分配板技術領域。

背景技術

現有技術中的冷卻水分配板，譬如，意大利LPE公司的PE3061D設備的工藝腔體底部的水冷卻裝置，冷卻水主要集中在中心縫隙，不能很好的冷卻工藝腔體底部溫度較高處，導致腔體在使用一段時間之后，腔體鍍金層被高溫氧化，導致鍍金層發黑、脫落，腔體鍍金層壽命只有7-9個月時間，較全新的腔體，工藝功率損耗大到10kw。如圖1所示。

發明內容

為了克服現有的水冷卻裝置不能很好對工藝腔體底部的冷卻，本技術提供了一種新型的冷卻水分配板，其所采用的技術方案是：水流通過以圓弧的形式分布在外延加熱體底部的水流細孔流過，密布在板盤上的水流細孔的孔徑直徑大小為10mm左右，以中心圓孔為中心均勻分布在以150mm、220mm、300mm為半徑的圓弧上。

本技術的有益效果是，通過控制腔體底部冷卻水流分布，在腔體高溫位置集中水流，通過噴射狀流動的水流帶走附著在腔體底部的氣泡（此氣泡在高溫時產生，并阻隔腔體表面的熱交換）該冷卻水分配板能夠有效控制腔體底部溫度，從而有效防止腔體表面鍍金層因高溫而氧化剝落，此技術大幅延長了腔體使用壽命，同時降低了工藝功率損耗，節約了能耗。本實用新型有效延長腔體使用壽命，從原來的7-9個月延長到了16個月。相對舊型鍍金層脫落后的腔體，功率消耗節約了10-20%。

附圖說明

圖1是現有技術中舊型冷卻水分配盤俯視圖。

圖2是本實用新型的新型冷卻水分配盤俯視圖。

圖3是本實用新型的實施例的縱剖面結構圖。

圖4是本實用新型的裝配圖。

圖5是本實用新型的實施例的縱剖面構造圖。

圖6是本實用新型的實施例的橫剖面構造圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型做進一步詳細的說明。

圖2是本實用新型的俯視圖，水流通過直徑大小為10mm水流孔，水流孔以中心圓孔為中心分布在以150mm、220mm、300mm為半徑的圓弧上，通過均勻設置的水流孔，有效降低腔體表面的溫度。?

圖4中是本冷卻水分配盤的裝配示意圖，安裝與箭頭所示位置。

在圖3、圖5、圖6所示實施例中，本實用新型安裝與反應腔體底部。通過本應用新型的水流分配設置，控制反應腔體位于加熱體底部的溫度，避免高溫引起腔體表面鍍金層氧化脫落。

雖然本發明通過實施例進行了描述，但實施例并非用來限定本發明。本領域技術人員可在本發明的精神的范圍內，做出各種變形和改進，所附的權利要求應包括這些變形和改進。