[實用新型]LCD曝光平臺裝置及曝光系統

有效

• 申請號: 201120341726.3
• 申請日: 2011-09-13
• 公開（公告）號: CN202257028U
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發明（設計）人: 陳孝賢
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 胡海國

技術領域

本實用新型涉及LCD曝光技術，特別涉及一種LCD曝光平臺裝置及曝光系統。

背景技術

在LCD(Liquid?Crystal?Display，液晶顯示器)面板制作過程中，特別是TFT(Thin?Film?Transistor，薄膜晶體管)LED面板的制作工藝，需要在TFT基板上濺射金屬材料、絕緣層等，并反復經過多次曝光之后，形成具有柵極、源極、漏極、像素電極和保護層等的TFT陣列，或在彩色濾光基板上涂敷微細顏料，經曝光后形成彩色濾光圖案。

在現有的LCD曝光系統中，包括有平臺裝置和照射裝置，將基板放置于平臺裝置的平臺上，在進行曝光時，需通過移動平臺，使基板的待曝光區域移動到照射裝置的曝光區域。由于現有平臺裝置比較笨重，致使平臺的移動過程很不方便。另有一種LCD曝光系統采用夾具將基板抬起，只需小幅度移動平臺裝置，使基板與平臺裝置產生相對位移，放下基板后，將平臺裝置退回到原位，使照射裝置的曝光區域到達基板要求的待曝光區域，并進行曝光，該LCD曝光系統中需要多次將基板與平臺裝置分離，基板的制作成型時間較長。

實用新型內容

本實用新型的主要目的為提供一種操作方便、基板制作工時短的LCD曝光平臺裝置及曝光系統。

本實用新型提出一種LCD曝光平臺裝置，包括：

平臺，其上表面與所述基板的底面接觸；

多個移位頂針，平放在所述平臺的上表面，分布于所述基板的各側；

多個驅動機構，分別與所述基板各側的移位頂針連接，驅動所述移位頂針與所述基板的側面接觸，進而移動所述基板。

優選地，所述移位頂針的軸線與對應的基板側面垂直，所述驅動機構沿所述移位頂針的軸線方向驅動所述移位頂針移動。

優選地，所述移位頂針的軸線與對應的基板側面平行，所述驅動機構沿垂直于所述移位頂針軸線的方向驅動所述移位頂針移動。

優選地，所述移位頂針以至少兩個為一組，分布在所述基板的各側，且每一組中的移位頂針兩兩相互平行。

優選地，所述平臺設置有多個通氣孔，該通氣孔的下方通氣端經通氣管道連接外置的吹/吸氣裝置。

優選地，所述通氣孔的軸線垂直于所述平臺的上表面。

優選地，所述LCD曝光平臺裝置還包括多個支撐頂針，分別與所述驅動機構連接，所述平臺還設置有多個軸線垂直于所述平臺上表面的通孔，所述支撐頂針穿過所述通孔，受所述驅動機構驅動沿所述通孔移動。

優選地，所述通孔為至少三個，各通孔之間的連線構成多邊形。

本實用新型還提出一種LCD曝光系統，用于對基板進行曝光，包括：

LCD曝光平臺裝置；和

照射裝置，位于所述基板上方，照射所述基板的曝光面。

優選地，所述LCD曝光系統還包括：

吹/吸氣裝置，其通氣端經通氣管道與通氣孔相連。

本實用新型只需移動基板，避免了平臺或整個LCD曝光平臺裝置的移動，使操作更加方便，且因平臺始終保持固定位置，可適當降低對其強度的要求。此外，基板在移位及曝光過程中，始終與平臺貼合，避免了基板與平臺分離的過程，縮短了曝光工藝的制作時間，使整個液晶面板制作更加高效。

附圖說明

圖1為本實用新型第一實施例中LCD曝光平臺裝置的俯視圖；

圖2為本實用新型第二實施例中LCD曝光平臺裝置的俯視圖，該實施例LCD曝光平臺裝置中設有垂直于基板側面的移位頂針；

圖3為本實用新型第三實施例中LCD曝光平臺裝置的俯視圖，該實施例LCD曝光平臺裝置中設有平行于基板側面的移位頂針；

圖4為圖1所示第一實施例中通氣孔吹氣時的LCD曝光平臺裝置的側視圖；

圖5為圖1所示第一實施例中通氣孔吸氣時的LCD曝光平臺裝置的側視圖；

圖6為本實用新型第四實施例中支撐頂針托起基板時的LCD曝光平臺裝置的側視圖；

圖7為圖6所示第四實施例中支撐頂針下降放下基板時的LCD曝光平臺裝置的側視圖；

圖8為本實用新型第五實施例中LCD曝光系統的側視圖，該實施例LCD曝光系統用于對基板進行曝光；

圖9為圖8所示第五實施例中準備進行第三次曝光時的LCD曝光系統的俯視圖。

本實用新型目的的實現、功能特點及優點將結合實施例，參照附圖做進一步說明。

具體實施方式

應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。