[實用新型]LCD曝光平臺裝置及曝光系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120341726.3
• 申請日: 2011-09-13
• 公開（公告）號: CN202257028U
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳孝賢
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44287
• 代理人: 胡海國

1.一種LCD曝光平臺裝置，其特征在于，包括：

平臺，其上表面與所述基板的底面接觸；

多個移位頂針，平放在所述平臺的上表面，分布于所述基板的各側(cè)；

多個驅(qū)動機構(gòu)，分別與所述基板各側(cè)的移位頂針連接，驅(qū)動所述移位頂針與所述基板的側(cè)面接觸，進而移動所述基板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LCD曝光平臺裝置，其特征在于，所述移位頂針的軸線與對應(yīng)的基板側(cè)面垂直，所述驅(qū)動機構(gòu)沿所述移位頂針的軸線方向驅(qū)動所述移位頂針移動。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LCD曝光平臺裝置，其特征在于，所述移位頂針的軸線與對應(yīng)的基板側(cè)面平行，所述驅(qū)動機構(gòu)沿垂直于所述移位頂針軸線的方向驅(qū)動所述移位頂針移動。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的LCD曝光平臺裝置，其特征在于，所述移位頂針以至少兩個為一組，分布在所述基板的各側(cè)，且每一組中的移位頂針兩兩相互平行。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的LCD曝光平臺裝置，其特征在于，所述平臺設(shè)置有多個通氣孔，該通氣孔的下方通氣端經(jīng)通氣管道連接外置的吹/吸氣裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的LCD曝光平臺裝置，其特征在于，所述通氣孔的軸線垂直于所述平臺的上表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的LCD曝光平臺裝置，其特征在于，還包括多個支撐頂針，分別與所述驅(qū)動機構(gòu)連接，所述平臺還設(shè)置有多個軸線垂直于所述平臺上表面的通孔，所述支撐頂針穿過所述通孔，受所述驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動沿所述通孔移動。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的LCD曝光平臺裝置，其特征在于，所述通孔為至少三個，各通孔之間的連線構(gòu)成多邊形。

9.一種LCD曝光系統(tǒng)，用于對基板進行曝光，其特征在于，包括：

如權(quán)利要求1至8任一項所述的LCD曝光平臺裝置；和

照射裝置，位于所述基板上方，照射所述基板的曝光面。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的LCD曝光系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

吹/吸氣裝置，其通氣端經(jīng)通氣管道與通氣孔相連。