[實用新型]濕法清洗設備

有效

• 申請號: 201120330081.3
• 申請日: 2011-09-05
• 公開（公告）號: CN202238756U
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發明（設計）人: 杜亮;李強
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: B08B3/04
• 分類號: B08B3/04;B08B13/00;G01N15/00;H01L21/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，尤其涉及一種濕法清洗設備。

背景技術

晶圓在進行工藝處理(如沉積)之前其表面必須是清潔的，一旦晶圓表面被玷污，必須通過清洗而排除。所述玷污可能是來自環境中的污染物，或者是在前工藝過程中殘留在晶圓表面的無用物。目前，濕法清洗是一種較為常用的清洗晶圓表面的方法。

圖1所示為現有技術的濕法清洗設備，所述濕法清洗設備包括內槽110、外槽120、泵130、加熱器140和過濾器150；所述內槽110設置在所述外槽120內，所述內槽110設有噴嘴111，所述外槽120設有排液口121，清洗液不斷通過所述噴嘴111注入所述內槽110內，并盛滿整個內槽110，由于所述內槽110內不斷有清洗液注入，因此，不斷有清洗液從所述內槽110溢出，從所述內槽110溢出的清洗液流入所述外槽120內，并通過所述排液口121排出，所述泵130為清洗液的流動提供驅動力，從所述排液口121排出的清洗液被所述泵130抽走并送入所述加熱器140內加熱，加熱后的清洗液被輸送到所述過濾器150內過濾，經過濾處理后的清洗液又通過所述噴嘴111送回所述內槽110內。使用所述濕法清洗設備清洗晶圓表面時，待清洗的晶圓210放置在晶舟220內，承載多片待清洗晶圓210的晶舟220置于所述內槽120內，所述濕法清洗設備通過清洗液的循環流動沖刷待清洗晶圓210的表面，達到清洗晶圓表面的目的。

顆粒(particle)是影響半導體器件制造質量的重要因素，在半導體制造業中，每天都要對機臺進行顆粒檢測。以上述濕法清洗設備為例，簡單介紹現有技術的顆粒檢測方法：現有技術的顆粒檢測方法采用離線檢測方法，使用專用測試晶圓，先測量測試晶圓表面一定直徑以上顆粒的數量，計算得到單位面積的顆粒數量(稱為前數據)，接著用上述濕法清洗設備清洗測試晶圓，清洗結束后，再次測量測試晶圓表面一定直徑以上顆粒的數量，計算得到單位面積的顆粒數量(稱為后數據)，比較后數據與前數據，以獲得機臺顆粒檢測結果。

由以上描述可知，現有技術中，濕法清洗設備的顆粒檢測采用離線檢測方式，檢測工作量較大。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種濕法清洗設備，可實時檢測清洗液中顆粒含量，減少顆粒檢測工作量。

為了達到上述的目的，本實用新型提供一種濕法清洗設備，包括外槽，設置于所述外槽內的內槽，依次連接的第一泵、加熱器和過濾器，以及顆粒檢測裝置，所述內槽設有噴嘴，所述外槽設有排液口，所述第一泵與所述外槽的排液口連接，所述過濾器與所述內槽的噴嘴連接，所述顆粒檢測裝置的輸入端通過樣品輸入管與所述過濾器的輸出端連接，所述顆粒檢測裝置的輸出端通過樣品輸出管與所述內槽的噴嘴連接。

上述濕法清洗設備，其中，所述顆粒檢測裝置包括冷卻器和液體微粒子計數器，所述冷卻器的輸入端與所述樣品輸入管連接，所述冷卻器的輸出端與所述液體微粒子計數器的輸入端連接，所述液體微粒子計數器的輸出端與所述樣品輸出管連接。

上述濕法清洗設備，其中，所述液體微粒子計數器包括電磁閥、光譜分析儀和第二泵，所述電磁閥的輸入端與所述冷卻器的輸出端連接，所述光譜分析儀的輸入端與所述電磁閥的輸出端連接，所述光譜分析儀的輸出端與所述第二泵的輸入端連接，所述第二泵的輸出端與所述樣品輸出管連接。

本實用新型的濕法清洗設備可實時對清洗液進行顆粒檢測，能在工藝過程中實現濕法清洗設備的顆粒檢測，大大減少顆粒檢測工作量；

本實用新型的濕法清洗設備對清洗液進行實時顆粒檢測，可實時掌握清洗液中顆粒含量，當清洗液中顆粒含量超過設定范圍時，能及時發現，可提高產品良率。

附圖說明

本實用新型的濕法清洗設備由以下的實施例及附圖給出。

圖1是現有技術的濕法清洗設備的示意圖。

圖2是本實用新型實施例的濕法清洗設備的示意圖。

圖3是本實用新型實施例中顆粒檢測裝置的示意圖。

具體實施方式

以下將結合圖2～圖3對本實用新型的濕法清洗設備作進一步的詳細描述。

參見圖2，本實用新型實施例的濕法清洗設備包括內槽310、外槽320、第一泵330、加熱器340、過濾器350和顆粒檢測裝置360；

所述內槽310設置在所述外槽320內，所述內槽310設有噴嘴311，所述外槽320設有排液口321；

所述第一泵330的輸入端與所述外槽320的排液口321連接，所述第一泵330的輸出端與所述加熱器340的輸入端連接；