[實(shí)用新型]濕法清洗設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120330081.3
• 申請(qǐng)日: 2011-09-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202238756U
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-05-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杜亮;李強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B3/04
• 分類(lèi)號(hào): B08B3/04;B08B13/00;G01N15/00;H01L21/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種濕法清洗設(shè)備，包括外槽，設(shè)置于所述外槽內(nèi)的內(nèi)槽以及依次連接的第一泵、加熱器和過(guò)濾器，所述內(nèi)槽設(shè)有噴嘴，所述外槽設(shè)有排液口，所述第一泵與所述外槽的排液口連接，所述過(guò)濾器與所述內(nèi)槽的噴嘴連接，其特征在于，所述濕法清洗設(shè)備還包括顆粒檢測(cè)裝置，所述顆粒檢測(cè)裝置的輸入端通過(guò)樣品輸入管與所述過(guò)濾器的輸出端連接，所述顆粒檢測(cè)裝置的輸出端通過(guò)樣品輸出管與所述內(nèi)槽的噴嘴連接。

2.如權(quán)利要求1所述的濕法清洗設(shè)備，其特征在于，所述顆粒檢測(cè)裝置包括冷卻器和液體微粒子計(jì)數(shù)器，所述冷卻器的輸入端與所述樣品輸入管連接，所述冷卻器的輸出端與所述液體微粒子計(jì)數(shù)器的輸入端連接，所述液體微粒子計(jì)數(shù)器的輸出端與所述樣品輸出管連接。

3.如權(quán)利要求2所述的濕法清洗設(shè)備，其特征在于，所述液體微粒子計(jì)數(shù)器包括電磁閥、光譜分析儀和第二泵，所述電磁閥的輸入端與所述冷卻器的輸出端連接，所述光譜分析儀的輸入端與所述電磁閥的輸出端連接，所述光譜分析儀的輸出端與所述第二泵的輸入端連接，所述第二泵的輸出端與所述樣品輸出管連接。