[實(shí)用新型]直驅(qū)式固晶機(jī)的擺臂機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120318902.1
• 申請(qǐng)日: 2011-08-29
• 公開（公告）號(hào): CN202205804U
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王敕;楊寧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常熟艾科瑞思封裝自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): H01L33/00
• 分類號(hào): H01L33/00;H01L21/68
• 代理公司: 常熟市常新專利商標(biāo)事務(wù)所 32113
• 代理人: 朱偉軍

1.一種直驅(qū)式固晶機(jī)的擺臂機(jī)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)控制裝置(1)、與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)控制裝置(1)連接的上下驅(qū)動(dòng)控制裝置(2)和設(shè)置在上下驅(qū)動(dòng)控制裝置(2)上的擺臂(3)，其特征在于：還包括有一導(dǎo)軌座(4)，該導(dǎo)軌座(4)具有一連接軸(41)和一對(duì)導(dǎo)軌(42)，所述的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)控制裝置(1)與所述連接軸(41)傳動(dòng)連接，而所述的上下驅(qū)動(dòng)控制裝置(2)與所述的一對(duì)導(dǎo)軌(42)滑動(dòng)配合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直驅(qū)式固晶機(jī)的擺臂機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)控制裝置(1)包括具有軸承座(111)和定子容納腔(112)的外殼(11)、具有轉(zhuǎn)子配合腔(121)的定子(12)、下蓋(13)、由磁軛(141)和永磁塊(142)構(gòu)成的轉(zhuǎn)子(14)、軸承(15)、光柵尺(16)和讀碼器(17)，定子(12)位于外殼(11)與下蓋(13)之間，并且外殼(11)、定子(12)和下蓋(13)三者固定連接在一起，轉(zhuǎn)子(14)通過(guò)其磁軛(141)與軸承(15)的軸承外圈(151)固定并且對(duì)應(yīng)于所述的轉(zhuǎn)子配合腔(121)，軸承(15)的軸承內(nèi)圈(152)與所述的軸承座(111)固定，所述的軸承座(111)具有一軸承座腔(1111)，在該軸承座腔(1111)內(nèi)構(gòu)成有一讀碼器安裝板(1112)，所述的讀碼器(17)設(shè)置在讀碼器安裝板(1112)上，所述的轉(zhuǎn)子(14)的磁軛(141)具有一磁軛腔(1411)，該磁軛腔(1411)朝向所述外殼(11)，并且在該磁軛腔(1411)的中央構(gòu)成有一軸座套(1412)，在軸座套(1412)上固定有一光柵尺固定盤(1413)，所述的光柵尺(16)固定在該光柵尺固定盤(1413)朝向所述讀碼器(17)的一側(cè)，并且與讀碼器(17)相對(duì)應(yīng)，所述的連接軸(41)與軸座套(1412)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的直驅(qū)式固晶機(jī)的擺臂機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的軸承(15)有彼此相對(duì)疊置的一對(duì)并且均為角接觸軸承。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的直驅(qū)式固晶機(jī)的擺臂機(jī)構(gòu)，其特征在于在所述的外殼(11)的殼壁(113)上并且圍繞殼壁(113)的圓周方向以間隔狀態(tài)開設(shè)有復(fù)數(shù)組第一氣孔(1131)，每組第一氣孔(1131)的數(shù)量為一對(duì)，并且在各第一氣孔(1131)上配設(shè)有一冷卻空氣接頭(5)；在所述的定子(12)上并且圍繞定子(12)的圓周方向的邊緣部位以間隔狀態(tài)開設(shè)有數(shù)量與所述第一氣孔(131)的數(shù)量相等的并且位置相對(duì)應(yīng)的復(fù)數(shù)組第二氣孔(122)；在所述的下蓋(13)朝向所述定子(12)的一側(cè)的邊緣部位并且在對(duì)應(yīng)于所述的第二氣孔(122)的位置開設(shè)有數(shù)量與第二氣孔(122)的組數(shù)相等的氣道凹槽(131)，第一氣孔(1131)、第二氣孔(122)和氣道凹槽(131)彼此相通。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的直驅(qū)式固晶機(jī)的擺臂機(jī)構(gòu)，其特征在于當(dāng)所述的外殼(11)、定子(12)和下蓋(13)彼此固定連接在一起后，所述的第一氣孔(1131)與所述的第二氣孔(122)彼此重合，并且所述的氣道凹槽(131)與第二氣孔(122)重合。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的直驅(qū)式固晶機(jī)的擺臂機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的第一氣孔(1131)的孔口部位設(shè)置有孔口配合螺紋(11311)，所述的冷卻空氣接頭(5)具有螺紋配接端(51)，螺紋配接端(51)與孔口配合螺紋(11311)螺紋配接。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的直驅(qū)式固晶機(jī)的擺臂機(jī)構(gòu)，其特征在于在所述的磁軛腔(1411)的底部設(shè)置有一軸承下壓環(huán)(1414)，而在磁軛(141)朝向所述外殼(11)的一側(cè)的端面(1415)上配設(shè)有一軸承上壓環(huán)(1416)，該軸承上壓環(huán)(1416)與端面(1415)固定，所述的軸承(15)位于軸承上、下壓環(huán)(1416、1414)之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的直驅(qū)式固晶機(jī)的擺臂機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的定子容納腔(112)構(gòu)成于所述軸承座(111)的外壁與所述的殼壁(113)之間；在所述磁軛(411)的外壁上并且圍繞該外壁的圓周方向構(gòu)成有永磁塊槽(1417)，所述的永磁塊(142)嵌置在永磁塊槽(1417)內(nèi)。