[實用新型]三氯氫硅合成設備

有效

• 申請號: 201120308145.X
• 申請日: 2011-08-23
• 公開（公告）號: CN202246098U
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發明（設計）人: 齊林喜;劉犀靈;王曉亮
• 申請（專利權）人: 內蒙古盾安光伏科技有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 代易寧;譚祐祥

1.?一種三氯氫硅合成設備，包括：

氯化氫儲罐（1），用于儲存氯化氫氣體；

用于三氯氫硅合成反應的合成爐（2），所述合成爐與所述氯化氫儲罐連接并從其接收氯化氫氣體，在所述合成爐中還加入硅粉，硅粉和氯化氫氣體反應生成三氯氫硅、二氯二氫硅和四氯化硅的混合物；

與所述合成爐連接的冷凝器（3），所述冷凝器從合成爐接收反應生成的所述混合物并將所述混合物冷凝；

第一精餾塔（5），所述第一精餾塔的入口與冷凝器相連，所述第一精餾塔接收被冷凝的混合物，用于從被冷凝的混合物中分離出二氯二氫硅；

第二精餾塔（6），所述第二精餾塔的入口與第一精餾塔塔底相連，所述第二精餾塔接收第一精餾塔塔底釜液，用于從其中分離出四氯化硅；

與合成爐相連的汽化器（8），所述汽化器接收通過第一精餾塔分離得到的液態二氯二氫硅、和通過第二精餾塔分離得到的液態四氯化硅，并將液態二氯二氫硅和四氯化硅汽化后返回合成爐。

2.?根據權利要求1所述的三氯氫硅合成設備，其特征在于還包括設置在冷凝器和第一精餾塔之間的冷凝料儲罐（4），用于儲存冷凝后的混合物和將其輸送至第一精餾塔。

3.?根據權利要求1所述的三氯氫硅合成設備，其特征在于還包括設置在第一和第二精餾塔與汽化器之間的氯硅烷儲罐（7），該氯硅烷儲罐從第一精餾塔接收分離出的二氯二氫硅并從第二精餾塔接收分離出的四氯化硅，并儲存所接收的二氯二氫硅和四氯化硅。

4.?根據權利要求1所述的三氯氫硅合成設備，其特征在于，所述第一精餾塔從被冷凝的混合物中在塔頂分離出二氯二氫硅，以及第一精餾塔具有冷凝器，用于將分離出的二氯二氫硅冷凝為液態二氯二氫硅。

5.?根據權利要求4所述的三氯氫硅合成設備，其特征在于，第一精餾塔塔底釜液中包含從被冷凝的混合物中分離出的三氯氫硅和四氯化硅。

6.?根據權利要求1所述的三氯氫硅合成設備，其特征在于，所述第二精餾塔從其塔頂分離出三氯氫硅產品，并從其塔底釜液得到液態四氯化硅。

7.?根據權利要求5或6所述的三氯氫硅合成設備，其特征在于，所述第二精餾塔從被接收的第一精餾塔塔底釜液中在塔頂分離出三氯氫硅產品，并從第二精餾塔塔底釜液得到液態四氯化硅。

8.?根據權利要求1所述的三氯氫硅合成設備，其特征在于，所述冷凝器（3）將未凝結的氯化氫氣體送回合成爐或氯化氫儲罐。